웨이퍼 공정과 팹 모델#
레이어 웨이퍼 레시피·팹 일정을 만들고 프로필·보존량·장비 이용률을 확인합니다.
작업 화면 열기#
작업 화면 메뉴에서 Wafer Process & Fab을 선택하고 레이어 웨이퍼 모델 또는 팹 일정 모델을 엽니다. 양식에서 입력을 편집하고 Run으로 계산하며 Cancel로 작업을 중지합니다. 입력을 바꾸면 이전 결과는 오래된 상태가 됩니다.
웨이퍼 레시피 작성#
재료와 모델 계수를 정의합니다.
표면에서 안쪽 순서로 평면 레이어의 두께·초기 농도를 지정합니다.
증착·선택 식각·확산 단계를 실행 순서대로 추가합니다.
길이 nm·시간 s·온도 K·농도 cm^-3·도즈 cm^-2 단위를 확인합니다.
실행 후 초기 프로필과 단계별 프로필을 비교하고 두께·도즈 변화·경계 도즈·보존 오차를 확인합니다.
프로필을 사용하기 전에 메시·시간 단계를 세분화해 결과를 비교하세요. 모델은 입력한 재료 계수와 평면 레이어를 사용합니다. 보정된 파운드리 데이터·횡방향 형상·플라즈마 화학·응력·TCAD 사인오프를 추론하지 않습니다.
팹 일정 작성#
장비 용량과 계획 정지 시간을 정의합니다.
경로·가공/준비/운송 시간·장비 재방문을 설정합니다.
투입 시각·우선순위·웨이퍼 수를 가진 로트를 추가하고 배차 규칙을 선택합니다.
실행 후 장비 시간축·완료 로트·대기/사이클 시간·이용률을 확인합니다.
시나리오 처리량을 비교하기 전에 계산 종료 시각까지 완료되지 않은 로트를 확인합니다.
작업 시간은 모델 입력입니다. 레시피 참조는 연결을 기록하지만 입력 시간을 공장의 실측 사이클 시간으로 바꾸지는 않습니다. 이 결정론적 일정에서 무작위 고장·배치 형성·수율을 추론하지 않습니다.
시나리오 저장 및 비교#
입력 JSON과 완료 결과를 함께 내보내세요. 시나리오마다 이름을 정하고 증착 시간·확산 계수·장비 용량처럼 가정을 하나씩 바꿉니다. 각 결과에 단위·메시/시간 설정·실제 실행 입력을 보관하세요. 이 파일 저장은 native CAD 프로젝트 저장과 별개입니다.