vFactory에서 첫 공정 모델 실행하기

공정 모델 탭은 예제 웨이퍼 공정으로 시작합니다. 입력을 확인하고 실행한 뒤 계산 결과를 읽으세요.

공정 모델 열기

1. 제품 메뉴를 열고 vFactory 항목을 고른 다음 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 고르세요.

2. 공정 모델 탭을 선택하세요.

3. 모델 목록은 웨이퍼 공정 항목 그대로 두세요. 양식은 평면 층 예제 입력으로 시작합니다.

입력 확인하기

1. 재료 계수, 초기 층을 표면부터 지정, 공정 순서 항목을 살펴보세요.

2. 예제 공정 순서에는 도핑된 박막 증착, 층 열처리, 박막 선택 식각 세 단계가 있습니다.

3. 모델 가정과 단위 항목을 펼쳐 단위와 모델의 범위를 읽으세요.

첫 실행 전에 예제의 가정과 단위, 재료 계수, 초기 층을 검토하세요. 아직 결과는 표시되지 않습니다.

모델 실행하기

1. 도구 모음에서 시뮬레이션 실행 버튼(재생 버튼)을 누르세요.

2. 모델이 실행되는 동안 상태에 입력 모델 계산 중… 문구가 표시됩니다. 실행을 멈추려면 시뮬레이션 취소 버튼을 누르세요.

3. 상태에 계산 완료 문구가 표시되면 입력 옆에 로그 농도, 공정 단계 검사 등의 결과가 나타납니다.

‘계산 완료’ 뒤에는 결과에 선택한 공정 단계, 깊이별 농도 분포, 공정 이력이 표시됩니다. 공정 실행 출처에는 실행이 완료된 것으로 표시됩니다.

실행한 뒤 입력을 바꾸면 상태에 입력이 변경되었습니다 문구가 표시됩니다. 결과를 새로 고치려면 시뮬레이션 실행 버튼을 다시 누르세요.

‘입력이 변경되었습니다’ 배너는 모델을 다시 실행할 때까지 오른쪽 결과가 이전 입력의 결과임을 표시합니다.

실행이 완료되지 않을 때

시뮬레이션을 완료하지 못했습니다 메시지가 문제를 설명하는 내용과 함께 나타납니다. 메시지의 안내를 따른 뒤 모델을 다시 실행하세요.

실행 중이거나 프로젝트 파일 작업이 진행 중일 때는 시뮬레이션 실행 버튼을 사용할 수 없습니다.

프로젝트 파일에 연결할 수 없을 때는 시뮬레이션 실행을 사용할 수 없습니다. 프로젝트를 다시 연결한 뒤 모델을 실행하세요.

프로젝트가 바뀌었습니다 메시지가 나타나면 안내에 따르세요: 이 프로젝트의 공정 문서를 열거나 새로 만드세요.

입력과 결과 저장하기

1. 입력 저장 버튼은 현재 입력을 JSON 파일로 저장합니다.

2. 결과 내보내기 버튼은 실행한 뒤에 사용할 수 있으며 입력과 결과를 함께 저장합니다.

3. 다음으로 팹 모델을 실행해 보려면 모델 목록에서 팹 시뮬레이션 항목을 고르세요. 재진입 팹 예제 입력으로 시작합니다.

vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지

예제 입력은 합성된 가정값입니다. 결과는 제공된 모델의 시뮬레이션이며 실측 생산 데이터가 아닙니다.