클린룸 농도 대용값 이해하기

‘설계에서 웨이퍼로’ 탭에 있는 클린룸 입력은 ISO 등급과 하강 기류를 결함 밀도 및 수율 추정값으로 연결합니다. Cloud와 Windows 앱에서 연결된 슬라이더는 참조 팹 환경을 사용하며, 가져온 배치 미리 보기는 별도의 환경을 갖습니다. ‘vFactory에서 참조 팹 열기’ 안내에 따라 예제를 여세요.

농도에서 침착으로

계산에는 Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 particles/m³를 사용합니다. N은 ISO 등급입니다. D는 µm 단위의 입자 크기 임계값으로, Cn은 직경이 D 이상인 입자를 나타냅니다. 하나의 누적 임계값을 사용하므로 서로 겹치는 임계값별 입자 집단을 더하지 않습니다.

침착 입자 수/cm² = Cn × (하강 기류 + 침강 속도) × 노출 시간 × 침착 비율 ÷ 10,000입니다. 두 속도의 단위는 m/s이고 노출 시간의 단위는 초입니다. 나누는 값은 제곱미터를 제곱센티미터로 변환합니다.

환경 D0 = 침착 입자 수/cm² × 치명 결함 비율입니다. 모델은 이 기여분을 ‘사용자 D0 (결함/cm²) · 가정’ 값에 더해 ‘총 D0 (결함/cm²)’ 값을 구합니다.

입력과 추정값 읽기

연결된 제어 기능에서는 ISO 등급을 1–9의 정수로, 하강 기류를 0–1 m/s로 설정할 수 있습니다. 독립적인 ISO 등급 입력에는 1–9 범위 내의 소수도 사용할 수 있습니다. ‘입자 임계 직경 D (µm)’ 값으로는 0.1–5 µm를 입력할 수 있습니다. 침강 속도와 노출 시간은 음이 아니어야 하며, 침착 비율과 치명 결함 비율의 범위는 0에서 1입니다.

푸아송, 머피 및 음이항 확률은 cm² 단위의 활성 다이 면적과 결함/cm² 단위의 총 D0를 사용합니다. 예상 양품 다이는 완료된 웨이퍼 수 × 웨이퍼당 다이 수 × 각 수율 확률입니다.

환경 변화 해석하기

연결된 슬라이더를 바꾸면 동일한 시뮬레이션 로트에 대해 이 추정값을 다시 계산합니다. 해당 로트의 사이클 시간과 완료 시각은 그대로 유지됩니다.

참조 팹과 그 환경 값은 설명을 위한 가정입니다. ISO 등급은 농도 대용값을 제공하며, 측정된 입자 분포나 인증을 제공하지 않습니다. 환경에서 D0로 이어지는 매핑은 보정되지 않았습니다. 수율 확률과 예상 양품 다이는 측정된 생산 결과가 아닌 추정값입니다.