vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지

vFactory 열기

1. vFactory는 Digital Design Studio 안에서 DDS·ALcad와 나란히 제공되는 웨이퍼 공정·팹 작업 영역입니다.

2. 제품 메뉴에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹을 선택하며, 팹 장면은 기본으로 활성화됩니다.

3. Cloud와 Windows·Linux 앱에서 사용할 수 있으며, 프로젝트 파일 작업은 선택한 호스트의 지원 범위에 따릅니다.

4. 참조 팹에서 시작하거나 작업에 맞게 공정 모델, 설계에서 웨이퍼로, EUV 계산, EUV 클립을 선택합니다.

5. 자체 참조 예제는 네 층에 장비 300대를 배치하며, 200–400대 범위로 조정할 수 있고 수치는 가정으로 명시됩니다.

제품 메뉴에서 vFactory를 엽니다.

걷기와 보기

1. 2D 지도, 3D 지도, 윗면 보기, 보행, 돌하우스로 팹을 살펴봅니다.

2. 보행 화면에 초점을 두고 W/S로 앞뒤 이동, A/D로 옆걸음, Shift로 달리기를 합니다.

3. 3D 화면에서 드래그해 둘러봅니다.

4. 문 가까이에서 E를 누르며, 닫힌 문·벽·장비는 보행 경로를 막습니다.

5. ‘계단 / 엘리베이터’에서 ‘목적 층’과 ‘이동 시설’을 고릅니다. ‘이동 시설로 걷기’를 선택해 이동한 뒤, 도착하면 ‘층 이동’을 사용합니다.

6. EUV 구역으로 걸어가 노광기에 접근하면 안으로 보기 · EUV 노광기 {number}가 나타납니다.

참조 팹을 걸어서 둘러보고 EUV 실험실에 접근합니다.

시뮬레이션과 로트 재생

1. 공정 모델에서 시드 기반 팹 시뮬레이션 (v2)을 선택하고 입력을 확인한 뒤 활성화된 시뮬레이션 실행을 사용합니다.

2. 동일한 모델과 시드는 같은 실행을 재현하며, 시간·고장·정비·배치는 입력한 모델을 따릅니다.

3. 이벤트가 기록된 완료 실행에서는 시뮬레이션 재생, 시뮬레이션 일시 정지, 처음부터 재생과 재생 속도 1×–100,000×를 사용합니다.

4. 로트를 선택하거나 정확한 ID로 검색해 선택한 시뮬레이션 시각의 로트 기록을 확인하고, 장비 상태는 장비를 별도로 선택해 확인합니다.

5. 출시된 기본 시뮬레이션 경로는 기록된 로트와 장비 상태를 재생하며, AMHS 차량 이벤트를 생성하거나 OHT 차량을 재생하지 않습니다. 레일 배치만으로 차량 시뮬레이션이 만들어지지는 않습니다.

기록된 팹 실행을 재생하면서 선택한 로트를 확인합니다.

EUV 내부와 계산

1. 보행에서 안으로 보기 · EUV 노광기 {number}를 선택해 구조 랩을 열고 내부 보기 닫기 또는 Escape로 돌아옵니다.

2. 재구성·가정 표시를 확인하며, 구조는 공개 정보와 가정한 치수를 사용하고 제조용 CAD를 제공하지 않습니다.

3. EUV 계산에서 편집 가능한 프리셋을 확인하고 EUV 계산하기를 선택해 광원부터 웨이퍼까지의 전력·광자 예산을 확인합니다.

4. 스캔 속도·시간당 웨이퍼 수·광학 결과는 가정을 명시한 미보정 계산으로 읽으며 측정된 장비 처리량으로 해석하지 않습니다.

5. 12.5–14.5 nm 범위 계산에서는 13.5 nm 광학 굴절률을 고정하며, 측정 스펙트럼이나 분산 모델이 아닙니다.

가정 표시와 함께 재구성된 EUV 노광기를 살펴봅니다.

가정에 기반한 EUV 광량 예산을 확인합니다.

설계 보내기와 가상 웨이퍼 확인

1. 지원되는 Cloud 프로젝트의 DDS GDS 보기에서 투영된 구조의 ‘vFactory로 보내기’를 선택하면 그 설계로 ‘설계에서 웨이퍼로’ 화면이 열립니다. ‘설계에서 웨이퍼로 실행’을 누르기 전에는 아무것도 실행되지 않습니다.

2. 전달은 웨이퍼 25장짜리 로트 하나로 시작합니다. ‘참조 팹 경로’를 고르고 로트 수·웨이퍼 수·투입 간격을 편집 가능한 가정으로 확인한 뒤, 실행하기 전에 ‘미리 보기 계산’을 눌러 웨이퍼 맵과 수율 추정치를 확인합니다.

3. 300 mm 웨이퍼 맵은 GDS 경계로 다이 크기를 정하고 스크라이브 간격과 가장자리 제외 영역을 반영합니다.

4. 표시된 결함 밀도 가정으로 Poisson·Murphy·음이항 수율 추정치를 비교하며, 이를 실제 양품 다이 수의 측정값으로 해석하지 않습니다.

5. 로트 완료 및 납기는 시뮬레이션 시작부터의 초 단위로 읽으며, 미완료 로트에는 완료·납기 추정치가 없고 전체 납기는 요청한 모든 로트가 완료되어야 표시됩니다.

설계가 들어오기 전에는 ‘설계에서 웨이퍼로’에 설계 소스가 없다는 안내와 편집 가능한 가정이 표시됩니다. ‘미리 보기 계산’과 ‘설계에서 웨이퍼로 실행’은 계속 사용할 수 없습니다.

웨이퍼 맵, 수율 가정과 시뮬레이션된 로트 납기를 확인합니다.

6. 새로 시뮬레이션한 로트는 ‘3D에서 로트 따라가기’로 추적합니다. 로트가 완료되거나 다른 로트를 선택하면 따라가기가 중지됩니다. 다시 연 요약 파일에는 재생 이벤트가 없습니다.

7. 새 DDS 전달은 ISO 등급·하강 기류를 팹 환경 슬라이더에 연결하며, 가져오거나 다시 연 입력은 직접 연결하기 전까지 자체 가정을 유지합니다.

‘설계에서 웨이퍼로’ 화면의 입력값을 확인하고, ISO 등급과 하강 기류를 팹 환경 슬라이더에 연결해 둡니다.

8. 연결된 슬라이더를 바꾸면 팹을 다시 실행하지 않고 농도·환경 D0·수율·기대 양품 수를 다시 계산하며, 프로젝트 저장이 지원되면 바뀐 결과를 명시적으로 저장합니다.

9. ISO 등급은 입자 농도 대리값이며 측정된 분포나 인증이 아니고, 하강 기류는 미보정 침착 가정의 일부입니다.

10. 온도·습도·압력·진동에는 모델링된 입자·결함·수율·열 효과가 없습니다.

내 파일 가져오기

1. 배치 미리 보기는 팹 설정 → 팹 배치 가져오기에서 완전한 fab-model/v1 또는 fab-model/v2 JSON 파일을 선택합니다.

2. 원본 데이터 변환은 시드 기반 v2 모델의 팹 데이터 가져오기를 사용하고 실행 전에 가져오기 진단을 확인하며, 불완전하거나 지원되지 않는 원본 항목을 먼저 해결합니다.

3. 원본 가져오기는 지원되는 .asd·.xlsx·.cf·.os·.pr·.rw·.ts·.vr·.rte·.txt·.csv와 options.def를 받으며, 최대 64개·파일당 32 MiB·합계 64 MiB로 제한됩니다.

4. ‘설계에서 웨이퍼로’ 화면에서는 별도로 DDS/테이프아웃 소스 JSON 패키지와 선택적인 조립·시험 시간 입력을 받으며, JSON 가져오기는 1 MiB로 제한됩니다.

5. 가져오기 전용 외부 데이터셋은 직접 확보해야 하며, 해당 데이터셋은 제품에 포함되지 않고 제공 팹 예제는 자체 합성 모델입니다.

6. 외부 투어·녹화·공급업체 페이지는 보기 전용 참조이며, 해당 스크린샷·동영상·CAD·로고는 제품의 팹 자산으로 포함되지 않습니다.

사용할 때 확인할 한계

1. Linux 데스크톱의 WebGL2 대체 경로는 Low 단계를 사용하며, WebGPU와 WebGL2를 모두 사용할 수 없으면 실척 2D 평면도를 표시합니다.

2. EUV 클립은 로컬에서 박막 마스크 공중상을 계산하며, 공개 릴리스에서는 Cloud 이미징을 사용할 수 없으므로 기기 한도 내의 로컬 분할을 사용합니다.

3. EUV 구조 뷰어는 재구성한 광학 구조를 설명하며, 설명용 광선은 전자기·이미징·열·진동 시뮬레이션이 아닙니다.

4. 팹 사이클·납기·수율 추정치와 EUV 예산은 가정이 있는 모델 결과이며, 제조 승인이나 실제 납기 약속을 뜻하지 않습니다.

5. 릴리스 노트에는 Intel Iris Xe에서 EUV 내부 보기를 반복해 열거나 Medium/Low 품질을 전환할 때 공유 GPU 메모리가 늘어나는 한계가 기록되어 있습니다.