DUV 단계 일시 중지하고 재개하기
평면 DUV의 각 단계가 완료되면 저장점을 만들고 단계 경계에서 일시 중지한 뒤 다음 단계부터 이어서 실행합니다. 이 절차는 Cloud 2.1.2.10 및 Windows 2.1.2.3에 적용됩니다.
단계별 실행 시작하기
vFactory에서 공정 모델 항목을 연 다음 DUV 공정 연결 항목을 고르세요.
증착, 확산, 온도 램프 또는 식각 단계가 있는 평면 흐름을 사용하세요. 더보기 항목을 열고 단계별 저장점으로 실행 항목을 선택하세요. 저장점에는 완료된 각 단계가 기록됩니다.
일시 중지하고 이어서 실행하기
Cloud에서는 실행 진행 상황 옆의 이 단계가 끝나면 일시 중지 항목을 선택하세요. Windows에서는 더보기 항목을 열고 이 단계가 끝나면 일시 중지 항목을 선택하세요.
현재 단계가 끝날 때까지 기다리세요. 유지된 저장점은 완료된 단계를 식별합니다.
더보기 항목을 열고 다음 단계 이어서 실행 항목을 선택하여 유지된 분포와 경과 시간을 사용해 다음 미완료 단계부터 이어서 실행하세요.
저장점 유지하기
실행 중에 DUV 구간 취소 항목을 선택하면 실행을 멈추고 완료된 저장점을 유지합니다. 더보기 > DUV 흐름 파일 저장 항목을 선택하면 흐름 파일에 저장점이 포함됩니다.
재개하려면 웨이퍼와 팹 입력, 단계 매핑, 웨이퍼·로트·경로 식별자를 그대로 유지하세요. 애플리케이션은 이어서 실행하기 전에 저장점의 입력 및 결과 해시와 엔진 식별 정보를 확인합니다.