EUV 구조 모델과 계산 이해하기

vFactory의 EUV 구조 보기와 계산기는 서로 다른 질문에 답합니다. 두 기능 모두 Cloud와 Windows 앱에서 사용할 수 있습니다.

vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지

구조 모델이 보여 주는 것

참조 팹의 내부 보기는 교육용으로 재구성한 스캐너를 보여 줍니다. 광학 경로를 따라가고 부품을 구분하는 데 사용하세요.

모델의 형상과 부품 배치는 공개 정보와 가정을 바탕으로 합니다. 내부 보기에서 출처를 선택해 참고 자료를 읽으세요.

광학 수지가 계산하는 것

EUV 계산은 사용자가 입력한 광원, 다층막, 선량, 스캔 및 광자 값을 사용합니다. 광학 경로의 출력, 평면 광학 응답, 광자 수와 이상적인 푸아송 분산을 계산합니다.

입력을 바꾸면 이전 결과가 지워집니다. 새 입력에 대한 결과를 얻으려면 다시 계산하세요.

결과와 함께 가정 읽기

Cloud에서는 출처 및 가정을 펼쳐 각 입력의 출처나 가정을 확인하세요. Windows에서는 각 입력 범위 옆의 태그를 확인하세요. 계산 결과를 비교할 때는 입력값도 함께 보관하세요.

구조 보기는 모델의 배치를 설명하고, 수지는 입력에 대한 계산값을 제공합니다. 각각에 적용된 가정과 함께 읽으세요.

구조 모델은 재구성한 것이며 계산 결과는 입력한 가정에 따라 달라집니다. 실제 스캐너나 팹의 측정값이 아닙니다.