미리보기와 실행 이해하기
미리보기로 웨이퍼 형상과 수율 추정값을 확인하고, 실행으로 로트 완료와 인도 결과를 확인하세요.
형상과 수율 계산하기
Cloud 또는 Windows 2.1.2.3에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹 → 설계에서 웨이퍼로 화면을 여세요. 미리 보기 계산 버튼과 설계에서 웨이퍼로 실행 버튼은 별개의 동작입니다. 두 동작 모두 설계 소스와 양식에 표시된 값을 사용합니다.
미리보기와 로트 시뮬레이션
미리보기로 웨이퍼 형상과 수율 추정값을 확인하고, 실행으로 로트 완료와 인도 결과를 확인하세요.
입력
- 1. 설계 소스와 입력
모델 / 동작
- 2. 미리 보기 계산
- 3. 설계에서 웨이퍼로 실행
결과
- 4. 형상 및 수율 추정
- 5. 로트 완료 및 납기
연결
- 1. 설계 소스와 입력 → 2. 미리 보기 계산: →
- 1. 설계 소스와 입력 → 3. 설계에서 웨이퍼로 실행: →
- 2. 미리 보기 계산 → 4. 형상 및 수율 추정: →
- 3. 설계에서 웨이퍼로 실행 → 5. 로트 완료 및 납기: →
DDS / 테이프아웃 소스 가져오기 버튼으로 소스를 가져오세요. Cloud에서는 기능이 지원되는 프로젝트의 GDS 뷰어에서 구조가 투영된 후 vFactory로 보내기 버튼을 사용할 수도 있습니다. 이 버튼으로 설계에서 웨이퍼로 화면에 설계가 열리면 실행 전에 경로와 로트 수량을 선택하세요.
미리 보기 계산 버튼을 선택해 300 mm 웨이퍼 맵과 형상 및 수율 추정 항목을 확인하세요. 미리보기는 입력한 가정값으로 다이 수, 환경이 결함 밀도에 미치는 영향과 수율 확률을 계산합니다. 맵에는 직사각형 다이의 형상이 표시됩니다.
로트 시뮬레이션 실행하기
참조 팹 로트 시뮬레이션을 실행하려면 설계에서 웨이퍼로 실행 버튼을 선택하세요. Cloud에서는 먼저 참조 팹 경로, 로트 수, 로트당 웨이퍼 수 항목을 선택하세요. Windows 2.1.2.3에서는 실행 전에 양식에서 로트 수량을 설정하세요.
실행이 완료되면 로트 완료 및 납기 항목이 추가되며 각 로트의 상태와 시간, 완료된 웨이퍼, 예상 양품 다이 수와 전체 납기 항목이 표시됩니다. Cloud를 사용하는 경우에도 시뮬레이션은 애플리케이션에서 로컬로 실행됩니다.
가져온 후공정 단계의 소요 시간은 인도 시간에 반영됩니다.
요약 확인 또는 로트 추적하기
연결된 소스 프로젝트에서 공정 파일을 사용할 수 있으면 완료된 결과가 저장됩니다. 프로젝트에 저장됨: 메시지는 확인된 경로를 표시합니다. 나중에 저장된 결과 열기 버튼으로 저장된 입력과 요약을 복원할 수 있습니다.
새 실행이 끝나면 3D 팹에서 로트 {lot} 따라가기 버튼으로 해당 실행에서 보관한 이벤트를 엽니다. 저장된 요약으로 결과를 확인하고, 현재 실행의 재생 기능으로 팹을 통과하는 로트를 추적하세요.
vFactory 사용 안내: 팹 둘러보기와 설계에서 웨이퍼까지
참조 팹은 합성된 공정 가정값을 사용합니다. 결과는 모델 추정값입니다.