Eingabe und Ergebnis einer Fertigung mit Startwert speichern

Speichern Sie die aktuelle v2-Eingabe mit Startwert, exportieren Sie einen abgeschlossenen Lauf und öffnen Sie die gespeicherte Eingabe erneut.

Eingabe vorbereiten

Wählen Sie in Cloud und Windows 2.1.2.3 im Produktmenü vFactory → Waferprozess und Fertigung, wählen Sie Prozessmodelle und anschließend unter Modell die Option Fabriksimulation mit Startwert (v2).

  1. Prüfen Sie die Modelleingaben. Wählen Sie bei Änderungen am Abschnitts-JSON Abschnitt übernehmen, um die Änderungen zu übernehmen, oder Abschnittsänderungen verwerfen, um zum aktuellen Abschnitt zurückzukehren.

  2. Schließen Sie vor dem Speichern jeden laufenden Import, jede laufende Simulation oder EUV-Zeitberechnung ab.

Eingabe speichern

  1. Wählen Sie Eingaben speichern.

  2. Bewahren Sie die heruntergeladene Datei vfactory-fab-v2-input.json auf.

  3. Um sie erneut zu öffnen, wählen Sie im Modell mit Startwert Fabrikdaten importieren und die gespeicherte JSON-Eingabedatei.

Einen abgeschlossenen Lauf exportieren

Die Eingabedatei speichert das aktuelle Modell mit Startwert und dessen EUV-Zeitmetadaten, sofern vorhanden. Der Ergebnisexport speichert die ausgeführte Eingabe, den SHA-256-Wert der Engine, das Ergebnis und die EUV-Zeitmetadaten des Laufs, sofern vorhanden.

  1. Wählen Sie Simulation ausführen und warten Sie auf das Ergebnis.

  2. Wählen Sie Ergebnisse exportieren und bewahren Sie die heruntergeladene Datei vfactory-fab-v2-result.json auf.

  3. Wenn Eingaben geändert erscheint, führen Sie das aktualisierte Modell aus, bevor Sie ein Ergebnis für diese Eingaben exportieren.