Lưu đầu vào và kết quả nhà máy seeded

Lưu đầu vào seeded v2 hiện tại, xuất lần chạy đã hoàn tất và mở lại đầu vào đã lưu.

Chuẩn bị đầu vào

Trong Cloud và Windows 2.1.2.3, chọn vFactory → Quy trình wafer và nhà máy từ menu sản phẩm, chọn Mô hình quy trình, rồi chọn Mô phỏng nhà máy với hạt giống (v2) trong Mô hình.

  1. Xem lại các đầu vào của mô hình. Khi chỉnh sửa JSON của phần, chọn Áp dụng phần để giữ các thay đổi hoặc Hủy chỉnh sửa phần để trở về phần hiện tại.

  2. Hoàn tất mọi thao tác nhập, mô phỏng hoặc tính thời gian EUV đang hoạt động trước khi lưu.

Lưu đầu vào

  1. Chọn Lưu đầu vào.

  2. Giữ tệp vfactory-fab-v2-input.json đã tải xuống.

  3. Để mở lại, chọn Nhập dữ liệu nhà máy trong mô hình seeded và chọn JSON đầu vào đã lưu.

Xuất lần chạy đã hoàn tất

Tệp đầu vào lưu mô hình seeded hiện tại và siêu dữ liệu thời gian EUV của mô hình nếu có. Bản xuất kết quả lưu đầu vào đã thực thi, SHA-256 của bộ máy, kết quả và siêu dữ liệu thời gian EUV của lần chạy nếu có.

  1. Chọn Chạy mô phỏng và chờ kết quả.

  2. Chọn Xuất kết quả và giữ tệp vfactory-fab-v2-result.json đã tải xuống.

  3. Nếu Đầu vào đã thay đổi xuất hiện, chạy mô hình đã cập nhật trước khi xuất kết quả cho các đầu vào đó.