EUV-Clip-Parameter
Schlagen Sie Standardwerte der Clip-Planung und optische Anfragewerte für die lokale EUV-Abbildung nach.
Diese Referenz gilt für vFactory in Cloud 2.1.2.10 und Windows 2.1.2.3.
EUV-Ausschnitt richtet die lokale Abbildung importierter GDS-Geometrie ein. Geometrie und Schnitte verwenden Masken-nm. Geben Sie für die lokale Abbildung explizite Optikwerte an.
Clip-Planung
Der Planer rundet den Randbereich auf ein ganzes Rasterintervall auf. Ein Lauf akzeptiert bis zu 64 Kacheln.
Feld | Anfangswert nach dem Import |
|---|---|
Ebene und Datentyp | Die Schicht des ersten importierten Polygons. |
Bereich X (Masken-nm), Bereich Y (Masken-nm) | Minimales X und Y des ersten importierten Polygons. |
Bereichsbreite (Masken-nm), Bereichshöhe (Masken-nm) | Die Ausdehnung des ersten Polygons, auf jeder Achse auf 4–512 nm begrenzt. |
Rasterauflösung (Masken-nm) | 4 |
Randbereich (Masken-nm) | 32 |
Kachelgröße (Masken-nm) | 512 |
Optische Anfrage
Die folgenden Bereiche sind die in den numerischen Eingaben angezeigten Werte. Defokuswerte sind unterschiedliche endliche Zahlen, durch Kommas getrennt.
Feld | Anfangswert; Eingabewerte |
|---|---|
Wellenlänge (nm) | 13,5; ab 0,001 |
Numerische Apertur | 0,33; 0,001–0,55 |
Abschattungsgrad | 0; 0–0,999 |
Beleuchtungsquelle | Konventionell; Konventionell, Ringförmig, Dipol, Quadrupol, Pixellichtquelle |
Defokusliste (nm) | 0; 1–32 Werte |
Schwellenwert (Iref = 1) | 0,5; ab 0,001 |
Breite des Ausgaberasters, Höhe des Ausgaberasters | Jeweils 64; ganze Zahlen von 2 bis 512 |
Erweiterte optische Einstellungen
Explizite Optikdaten (JSON) enthält stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport und reflectionPlaneNm. Der Brechungsindex der Umgebung ist {re: 1, im: 0}; die Polarisation ist x oder y; der Transport ist ideal-vector-v1 oder euvlitho-vector-v1.
Zernike-Polynome (JSON) akzeptiert bis zu 37 Terme mit unterschiedlichen Noll-Indizes von 1 bis 37 und coefficientWaves in Wellen. Punkte der Pixellichtquelle (JSON) akzeptiert 1–256 Punkte innerhalb der Einheitspupille mit nichtnegativen Gewichten und positiver Summe.
Numerik (JSON; null nutzt den Engine-Standard) akzeptiert null oder refinements von 2 oder 3 mit einer optionalen method von abbe, hopkins oder socs. Maskenabtastung (JSON; null nutzt den Engine-Standard) akzeptiert null, kontinuierliche Abtastung oder Pixelabtastung mit ganzzahliger Breite und Höhe von 1 bis 8192.
Weiterführende Anleitungen
vFactory verwenden: eine Fab erkunden und ein Design bis zum Wafer verfolgen
Layouts, Prozessdaten und Ergebnisse der Referenzfabrik beruhen auf beispielhaften Annahmen.