Das EUV-Strukturmodell und die Berechnungen verstehen

Unterscheiden Sie das didaktische Strukturmodell von den Ergebnissen des optischen Budgets und lesen Sie die Annahmen jeder Ansicht.

Die EUV-Strukturansicht und der Rechner von vFactory beantworten unterschiedliche Fragen. Beide sind auf Cloud und in der Windows-App verfügbar.

EUV-Struktur und optische Berechnung

Unterscheiden Sie das didaktische Strukturmodell von den Ergebnissen des optischen Budgets und lesen Sie die Annahmen jeder Ansicht.

Eingaben

  • 1. Rekonstruktion · Annahmen: öffentlich dokumentierte Struktur, angenommene Maße
  • 3. Optische Eingaben

Modell / Aktion

  • 2. Rekonstruktion zu Lehrzwecken
  • 4. EUV berechnen

Ergebnisse

  • 5. Lichtbilanz
  • 6. Planare optische Antwort
  • 7. Photonenbilanz und Rauschen

Verbindungen

  • 1. Rekonstruktion · Annahmen: öffentlich dokumentierte Struktur, angenommene Maße → 2. Rekonstruktion zu Lehrzwecken: →
  • 3. Optische Eingaben → 4. EUV berechnen: →
  • 4. EUV berechnen → 5. Lichtbilanz: →
  • 4. EUV berechnen → 6. Planare optische Antwort: →
  • 4. EUV berechnen → 7. Photonenbilanz und Rauschen: →

vFactory verwenden: eine Fab erkunden und ein Design bis zum Wafer verfolgen

Was das Strukturmodell zeigt

Die Innenansicht in Referenzfabrik zeigt eine didaktische Rekonstruktion eines Scanners. Sie hilft Ihnen, den optischen Pfad zu verfolgen und Komponenten zu identifizieren.

Die Geometrie des Modells und die Anordnung seiner Komponenten beruhen auf öffentlichen Informationen und Annahmen. Wählen Sie in der Innenansicht Quellen, um das referenzierte Material zu lesen.

Was das optische Budget berechnet

EUV-Berechnung verwendet Ihre Eingaben zu Quelle, Mehrschicht, Dosis, Scan und Photonen. Sie berechnet die Leistung entlang des optischen Pfads, die planare optische Antwort und die Photonenzahlen mit idealer Poisson-Varianz.

Wenn Sie eine Eingabe ändern, wird das vorherige Ergebnis gelöscht. Berechnen Sie erneut, um ein Ergebnis für die neuen Eingaben zu erhalten.

Die Annahmen zusammen mit dem Ergebnis lesen

Klappen Sie auf Cloud Quellen und Annahmen auf, um die Quelle oder Annahme für jede Eingabe zu prüfen. Prüfen Sie unter Windows das Kennzeichen neben dem Wertebereich jeder Eingabe. Halten Sie bei jedem Vergleich zwischen Berechnungen die Eingabewerte fest.

Eine Strukturansicht erklärt die Anordnung des Modells; ein Budget liefert berechnete Werte für seine Eingaben. Betrachten Sie beides jeweils mit den zugehörigen Annahmen.

Das Strukturmodell ist eine Rekonstruktion, und die Berechnungsergebnisse hängen von den angegebenen Annahmen ab; es handelt sich nicht um Messungen eines realen Scanners oder einer realen Fabrik.