Ihr erstes Prozessmodell in vFactory ausführen

Öffnen Sie die Prozessmodelle, prüfen Sie die Beispieleingaben, führen Sie das Modell aus und lesen Sie das Ergebnis.

Prozessmodelle öffnet mit einem Beispiel-Waferprozess. Prüfen Sie die Eingaben, führen Sie das Modell aus und lesen Sie das berechnete Ergebnis.

Prozessmodelle öffnen

  1. Öffnen Sie das Produktmenü und wählen Sie vFactory und dann Waferprozess und Fertigung.

  2. Wählen Sie die Registerkarte Prozessmodelle.

  3. Lassen Sie unter Modell die Auswahl Waferprozess. Das Formular beginnt mit den Eingaben von Beispiel einer planaren Schicht.

Eingaben prüfen

  1. Prüfen Sie Materialkoeffizienten, Anfangsschichten ab der Oberfläche und Prozessablauf.

  2. Die Beispielfolge hat drei Schritte: Dotierte Schicht abscheiden, Schichten tempern und Schicht selektiv ätzen.

  3. Öffnen Sie Modellannahmen und Einheiten, um die Einheiten und den Umfang des Modells zu lesen.

Die Registerkarte Prozessmodelle, in der Modell auf Waferprozess gesetzt ist. Der Abschnitt Modellannahmen und Einheiten ist geöffnet, danach folgen Materialkoeffizienten für Substrat und Schicht, Anfangsschichten ab der Oberfläche und der Anfang von Prozessablauf. Der Ergebnisbereich gibt an, dass noch keine berechneten Ergebnisse vorliegen.

Prüfen Sie vor dem ersten Lauf die Annahmen und Einheiten des Beispiels, die Materialkoeffizienten und die Anfangsschichten. Es wird noch kein Ergebnis angezeigt.

Modell ausführen

  1. Wählen Sie in der Symbolleiste Simulation ausführen (die Wiedergabeschaltfläche).

  2. Während das Modell läuft, zeigt der Status Modell wird berechnet…. Um den Lauf anzuhalten, wählen Sie Simulation abbrechen.

  3. Wenn der Status Berechnung abgeschlossen zeigt, erscheint das Ergebnis neben den Eingaben, unter anderem mit Logarithmische Konzentration und Prozessstufe prüfen.

Prozessmodelle nach einem Lauf. Die Statusleiste zeigt Berechnung abgeschlossen, und Herkunft der Prozessausführung weist den Lauf als abgeschlossen aus. Der Bereich Berechnete Ergebnisse zeigt die Stufe 3. Schicht selektiv ätzen mit ihrer Dicke, Dosis und Zellenzahl, ein Diagramm der Konzentration nach der Tiefe und die Tabelle Prozesshistorie und Erhaltung.

Nach Berechnung abgeschlossen zeigt das Ergebnis die ausgewählte Prozessstufe, ein Konzentrationsprofil nach der Tiefe und die Prozesshistorie. Herkunft der Prozessausführung weist den Lauf als abgeschlossen aus.

Wenn Sie nach einem Lauf eine Eingabe ändern, zeigt der Status Eingaben geändert. Wählen Sie erneut Simulation ausführen, um das Ergebnis zu aktualisieren.

Prozessmodelle nach einer Eingabeänderung. Ein Banner Eingaben geändert weist darauf hin, dass das angezeigte Ergebnis zu einer früheren Eingabe gehört und dass Sie das aktualisierte Modell ausführen sollten, um es zu aktualisieren. Der Diffusionsschritt Schichten tempern hat nun Dauer (s) 60, und das frühere Ergebnis bleibt rechts.

Das Banner "Eingaben geändert" kennzeichnet das Ergebnis rechts als Ergebnis der früheren Eingabe, bis Sie das Modell erneut ausführen.

Wenn der Lauf nicht abgeschlossen wird

Simulation wurde nicht abgeschlossen erscheint mit einer Meldung, die das Problem beschreibt. Befolgen Sie die Anweisungen in der Meldung und führen Sie dann das Modell erneut aus.

Simulation ausführen ist nicht verfügbar, solange ein Lauf oder ein Dateivorgang des Projekts läuft.

Wenn die Projektdateien nicht verfügbar sind, kann Simulation ausführen nicht verwendet werden. Verbinden Sie das Projekt erneut und führen Sie dann das Modell aus.

Wenn Projekt geändert erscheint, folgen Sie der Meldung: Öffnen Sie ein Prozessdokument dieses Projekts oder erstellen Sie ein neues.

Eingaben und Ergebnis speichern

  1. Eingaben speichern speichert die aktuellen Eingaben als JSON-Datei.

  2. Ergebnisse exportieren ist nach einem Lauf verfügbar und speichert die Eingaben zusammen mit dem Ergebnis.

  3. Um danach ein Fabrikmodell auszuprobieren, wählen Sie unter Modell die Option Fabriksimulation. Es beginnt mit den Eingaben von Beispiel einer Fabrik mit Rückläufen.

vFactory verwenden: eine Fab erkunden und ein Design bis zum Wafer verfolgen

Beispieleingaben sind synthetische Annahmen. Die Ergebnisse simulieren das vorgegebene Modell und sind keine gemessenen Produktionsdaten.