DUV-Stufen anhalten und fortsetzen
Erstellen Sie nach jeder abgeschlossenen planaren DUV-Stufe einen Prüfpunkt, halten Sie an einer Stufengrenze an und setzen Sie mit der nächsten Stufe fort. Diese Schritte gelten für Cloud 2.1.2.10 und Windows 2.1.2.3.
Stufenweisen Lauf starten
Öffnen Sie in vFactory Prozessmodelle und wählen Sie dann DUV-Prozessverknüpfung.
Verwenden Sie einen planaren Ablauf mit Abscheidungs-, Diffusions-, Temperaturrampen- oder Ätzstufen. Öffnen Sie Weitere Aktionen und wählen Sie Mit Prüfpunkten pro Schritt ausführen. Ein Prüfpunkt zeichnet jede abgeschlossene Stufe auf.
Anhalten und fortsetzen
Wählen Sie in Cloud Nach diesem Schritt pausieren neben der Fortschrittsanzeige des laufenden Vorgangs. Öffnen Sie unter Windows Weitere Aktionen und wählen Sie Nach diesem Schritt pausieren.
Warten Sie, bis die aktuelle Stufe abgeschlossen ist. Der beibehaltene Prüfpunkt kennzeichnet die abgeschlossene Stufe.
Öffnen Sie Weitere Aktionen und wählen Sie Mit nächstem Schritt fortsetzen, um mit dem beibehaltenen Profil und der verstrichenen Zeit bei der nächsten noch nicht abgeschlossenen Stufe fortzufahren.
Prüfpunkt beibehalten
Während eines Laufs stoppt DUV-Abschnitt abbrechen die Ausführung und behält abgeschlossene Prüfpunkte bei. Weitere Aktionen > DUV-Ablaufdatei speichern nimmt den Prüfpunkt in die Ablaufdatei auf.
Lassen Sie zum Fortsetzen die Wafer- und Fab-Eingaben, die Stufenzuordnung sowie die Wafer-, Los- und Routenkennungen unverändert. Die Anwendung prüft vor dem Fortsetzen die Eingabe- und Ergebnishashes des Prüfpunkts sowie die Engine-Identität.