Verknüpften DUV-Prozess ausführen und speichern
Verbinden Sie Wafer-Stufen mit Fab-Anlagen, führen Sie den DUV-Abschnitt aus und speichern Sie den Ablauf lokal oder im ausgewählten Projekt. Diese Schritte gelten für Cloud 2.1.2.10 und Windows 2.1.2.3.
DUV-Arbeitsbereich öffnen
Wählen Sie in vFactory Prozessmodelle und dann DUV-Prozessverknüpfung.
Klappen Sie in Cloud Zugeordnete Modelleingaben im Formular bearbeiten auf, um das Wafer-Rezept und die Eingaben für Fab-Anlagen zu ändern. Klappen Sie unter Windows den ersten Abschnitt Erweiterte Eingaben für diese Formulare auf.
Klappen Sie zur JSON-Bearbeitung in Cloud Zugeordnete Modelleingaben als JSON bearbeiten auf. Klappen Sie unter Windows den unteren Abschnitt Erweiterte Eingaben auf, der Modelleingabedaten enthält. Bearbeiten Sie das JSON und wählen Sie Modelleingaben übernehmen. Die bearbeitbaren Felder sind wafer, fab, mapping, waferId, lotId und routeId.
Abschnitt ausführen und prüfen
Wählen Sie DUV-Abschnitt ausführen, um die Wafer- und Fab-Modelle zu berechnen. Wählen Sie während der Ausführung DUV-Abschnitt abbrechen, um sie zu stoppen.
Wenn Berechnung abgeschlossen erscheint, wählen Sie in DUV stage mapping eine Stufe aus, um deren Anlage, Zeitplan und berechnetes Profil in der maßstabsgetreuen Fab-Szene zu prüfen.
Klappen Sie Herkunft der Prozessa usführung auf, um die ausgewählte Stufe und die Identitäten der Wafer- und Fab-Engines zu prüfen.
Lokale Dateien speichern und öffnen
Öffnen Sie Weitere Aktionen > DUV-Ablaufdatei speichern. Sowohl in Cloud als auch unter Windows startet dies einen Download namens duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Wählen Sie Weitere Aktionen > DUV-Ablaufdatei öffnen und wählen Sie einen gespeicherten JSON-Ablauf aus. Falls der aktuelle Ablauf Änderungen ohne bestätigte Dateispeicherung enthält, wählen Sie Replace DUV flow oder Keep current DUV flow.
Um eine maßstabsgetreue Szene zu verbinden, wählen Sie Weitere Aktionen > Maßstabsgetreue Szenendatei verbinden und wählen Sie deren JSON-Szenendatei aus.
Projektdateien speichern und öffnen
Verwenden Sie das ausgewählte Projekt mit einer aktiven Dateisitzung und der Berechtigung zum Speichern seiner Dateien. Stoppen Sie in Cloud vor dem Speichern die Projektlaufzeit. Projektvorgänge prüfen Projekt, Sitzung und Quellrevision.
Wählen Sie DUV-Fluss als Projektdatei speichern, geben Sie im Feld Projektdokument-Dateiname einen neuen Namen ein, zum Beispiel duv-flow.alcad-fab-scene.json, und wählen Sie Projektdatei speichern.
Wählen Sie DUV-Fluss aus Projekt öffnen, wählen Sie im Feld Projektdokument eine Datei aus und wählen Sie Projektdatei öffnen. Falls ein Entwurf ungespeicherte Änderungen enthält, wählen Sie vor dem Öffnen Den aktuellen ungespeicherten Entwurf durch diese Datei ersetzen.
Wählen Sie nach dem Öffnen oder Speichern einer Projektdatei DUV-Fluss im Projekt speichern, um diese Datei zu aktualisieren. Bei einem neuen Ablauf öffnet dieses Steuerelement den Dateinamendialog. Verwenden Sie DUV-Fluss als Projektdatei speichern mit einem anderen Dateinamen, um eine weitere Datei zu erstellen.
Warten Sie auf die Speicherbestätigung. Die Anwendung prüft vor dem Ersetzen die vorhandene Dateiversion und liest den gespeicherten Inhalt zur Überprüfung erneut ein.