Ausbeuteschätzungen in vFactory verstehen
Lesen Sie die Eingaben zur Defektdichte und die Wahrscheinlichkeiten der drei Modelle.
Defektdichte
In Cloud vFactory fasst „Geometrie- und Ausbeuteschätzung“ die Wafergeometrie, Annahmen zur Defektdichte und Ausbeutewahrscheinlichkeiten zusammen.
Ausbeuteschätzungen in vFactory verstehen
Lesen Sie die Eingaben zur Defektdichte und die Wahrscheinlichkeiten der drei Modelle.
Modellannahmen
- 1. Benutzer-D0 (Defekte/cm²) · Annahme
- 2. Umgebungs-D0 (Defekte/cm²)
- 4. Chipfläche (cm²)
- 5. Clusterkoeffizient α
Gesamt-D0 (Defekte/cm²)
- 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²)
Ausbeutewahrscheinlichkeiten
- 6. Poisson-Wahrscheinlichkeit
- 7. Murphy-Wahrscheinlichkeit
- 8. Negativbinomial-Wahrscheinlichkeit
Verbindungen
- 1. Benutzer-D0 (Defekte/cm²) · Annahme → 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²): +
- 2. Umgebungs-D0 (Defekte/cm²) → 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²): +
- 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²) → 6. Poisson-Wahrscheinlichkeit: D0
- 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²) → 7. Murphy-Wahrscheinlichkeit: D0
- 3. Gesamt-D0 (Defekte/cm²) → 8. Negativbinomial-Wahrscheinlichkeit: D0
- 4. Chipfläche (cm²) → 6. Poisson-Wahrscheinlichkeit: A
- 4. Chipfläche (cm²) → 7. Murphy-Wahrscheinlichkeit: A
- 4. Chipfläche (cm²) → 8. Negativbinomial-Wahrscheinlichkeit: A
- 5. Clusterkoeffizient α → 8. Negativbinomial-Wahrscheinlichkeit: α
„Benutzer-D0 (Defekte/cm²) · Annahme“ und „Umgebungs-D0 (Defekte/cm²)“ ergeben zusammen „Gesamt-D0 (Defekte/cm²)“. D0 wird in Defekten/cm² angegeben. Der Umgebungsbeitrag wird aus den Reinraumannahmen berechnet.
Drei Modelle
„Poisson-Wahrscheinlichkeit“, „Murphy-Wahrscheinlichkeit“ und „Negativbinomial-Wahrscheinlichkeit“ verwenden dieselbe Chipfläche in cm² und den Gesamt-D0. Das Negativbinomialmodell verwendet zusätzlich α zur Steuerung der Clusterbildung. Vergleichen Sie die drei Wahrscheinlichkeiten unter Berücksichtigung der Annahmen.
Die Schätzungen sind Modellergebnisse aus den angegebenen Annahmen, keine gemessene Ausbeute, Zertifizierung oder Prognose für eine reale Fabrik.