Eine EUV-Optik- und Photonenbilanz berechnen

Vergleichen Sie Modelleingaben und Ergebnisse in der EUV-Berechnung von Cloud 2.1.2.10 oder Windows 2.1.2.3.

Berechnung starten

Öffnen Sie EUV-Berechnung in vFactory und wählen Sie eine Quellenvoreinstellung.

Prüfen Sie Mo/Si-Mehrschicht + Ru-Deckschicht, Annahmen zu Dosis und Scan und Annahmen zur Photonenberechnung. Halten Sie jeden Wert im angezeigten Bereich.

Wählen Sie EUV berechnen.

Eingaben Mo/Si-Mehrschicht + Ru-Deckschicht (Mo/Si-Perioden, Mo-Dicke, Si-Dicke und Dicke der Ru-Deckschicht, Einfallswinkel zur Normalen bei 0°, Reflexionen im Beleuchtungssystem, an der Maske und im Projektionssystem), die ersten Eingaben Annahmen zu Dosis und Scan, die Dosis- und Scanergebnisse und ein Diagramm Planare optische Antwort des Reflexionsgrads über der Wellenlänge für s- und p-Polarisation.

Die Mehrschicht-Eingaben legen das Reflexionsmodell fest. Nach einer Berechnung stellt Planare optische Antwort den Reflexionsgrad für s- und p-Polarisation über der Wellenlänge dar.

Ergebnisse lesen

Lichtbilanz zeigt Leistung je Stufe, Dosis, Scangeschwindigkeit und Wafer pro Stunde.

Planare optische Antwort zeigt den s- und p-Reflexionsgrad über Wellenlänge und Winkel sowie R / T / A bei 13.5 nm. Öffnen Sie Wellenlängendatentabelle oder Winkeldatentabelle für genaue Werte.

Photonenbilanz und Rauschen zeigt Photonenenergie, mittlere Anzahlen und ideale Poisson-Varianz. Prüfen Sie dazu Quellen und Annahmen.

Ergebnisse nach EUV berechnen: die Tabelle R / T / A bei 13.5 nm mit demselben Reflexionsgrad, Transmissionsgrad und Absorptionsgrad für s- und p-Polarisation und die Tabelle Photonenbilanz und Rauschen für 20 mJ/cm² auf 100 nm² mit einem absorbierten Anteil von 0.5, mit Photonenenergie, mittleren Photonenzahlen für einfallende und absorbierte Photonen und ihrer idealen Poisson-Varianz.

Photonenbilanz und Rauschen vergleicht die Zahlen einfallender und absorbierter Photonen mit ihrer idealen Poisson-Varianz bei 13.5 nm.

vFactory

Dies sind Modellausgaben auf Basis von Annahmen, keine gemessenen Gerätedurchsätze oder Vorhersagen für eine reale Fabrik. Der Wellenlängensweep hält die optischen Indizes bei 13.5 nm konstant; ideale Poisson-Statistik sagt keine Resistdefekte oder Ausbeute voraus.