시드 팹 입력과 결과 저장하기

현재 시드 v2 입력을 저장하고 완료된 실행 결과를 내보낸 다음 저장된 입력을 다시 여세요.

입력 준비하기

Cloud와 Windows 2.1.2.3의 제품 메뉴에서 vFactory → 웨이퍼 공정 및 팹 항목을 선택하고 공정 모델 항목을 선택한 다음 모델에서 시드 기반 팹 시뮬레이션 (v2) 항목을 선택하세요.

  1. 모델 입력을 확인하세요. 섹션 JSON을 편집한 경우 항목 적용 항목을 선택해 변경 사항을 유지하거나 항목 수정 취소 항목을 선택해 현재 섹션으로 돌아가세요.

  2. 진행 중인 가져오기, 시뮬레이션 또는 EUV 시간 계산 작업을 마친 후 저장하세요.

입력 저장하기

  1. 입력 저장 항목을 선택하세요.

  2. 다운로드한 vfactory-fab-v2-input.json 파일을 보관하세요.

  3. 다시 열려면 시드 모델에서 팹 데이터 가져오기 항목을 선택하고 저장된 입력 JSON을 선택하세요.

완료된 실행 결과 내보내기

입력 파일에는 현재 시드 모델이 저장되며, EUV 시간 계산 메타데이터가 있으면 함께 저장됩니다. 결과 내보내기 파일에는 실행에 사용된 입력, 엔진 SHA-256, 결과가 저장되며, 해당 실행의 EUV 시간 계산 메타데이터가 있으면 함께 저장됩니다.

  1. 시뮬레이션 실행 항목을 선택하고 결과를 기다리세요.

  2. 결과 내보내기 항목을 선택하고 다운로드한 vfactory-fab-v2-result.json 파일을 보관하세요.

  3. 입력이 변경되었습니다 메시지가 표시되면 업데이트된 모델을 실행한 후 해당 입력에 대한 결과를 내보내세요.