Szenenstandardwerte

Schlagen Sie Anfangswerte für Wafer, Gehen und Umgebung sowie deren Einheiten und akzeptierte Bereiche nach.

Diese Referenz gilt für vFactory in Cloud 2.1.2.10 und Windows 2.1.2.3.

Neue Szenen beginnen mit diesen Werten für Wafer, Gehen und Umgebung. Öffnen Sie Fab-Einstellungen, um sie zu bearbeiten.

Wafer- und Gehwerte

Wafer-Felder befinden sich unter Boden und Wafer. Gehfelder befinden sich unter Begehen.

Feld	Standardwert; akzeptierter Bereich
Waferdurchmesser	300 mm; 25–450 mm
Waferdicke	0,775 mm; 0,1–2 mm
Waferhöhe am Ladeport	900 mm; 0–3000 mm
Augenhöhe	1,6 m; 1–2,2 m
Körperradius	300 mm; 150–600 mm
Gehgeschwindigkeit	1,4 m/s; 0,2–5 m/s
Drehgeschwindigkeit	90 °/s; 15–360 °/s

Umgebungswerte

Öffnen Sie Umgebung, um die gespeicherten Szenenumgebungswerte anzuzeigen.

Feld	Standardwert; akzeptierter Bereich
Umgebungstemperatur	21 °C; 15–30 °C
Relative Luftfeuchtigkeit	45 %RH; 20–70 %RH
Luftpartikelreinheit (Staub)	ISO 14644-1 Klasse 5; Klassen 1–9, ganze Zahlen
Abwärtsluftgeschwindigkeit	0,4 m/s; 0–1 m/s
Raumdruckdifferenz	15 Pa; 0–50 Pa

Koordinaten und gespeicherte Einheiten

Gespeicherte Längen verwenden Millimeter und Winkel verwenden Grad. Der Ursprung ist die südwestliche Bodenecke: X zeigt nach Osten, Y nach Norden und Z vom Boden nach oben.

Weiterführende Anleitungen

Die Referenzfabrik in vFactory öffnen

Layouts, Prozessdaten und Ergebnisse der Referenzfabrik beruhen auf beispielhaften Annahmen.