Das EUV-Modell in vFactory von innen betrachten
Öffnen Sie die Innenansicht eines EUV-Scanners, verfolgen Sie seinen optischen Pfad und lesen Sie seine Quellen.
Untersuchen Sie im EUV-Strukturlabor ein Lehrmodell eines Scanners auf Cloud oder in der Windows-App. Öffnen Sie vor Beginn die Referenzfabrik mithilfe der unten verlinkten Anleitung.
Die Referenzfabrik in vFactory öffnen
Die Innenansicht öffnen
Wählen Sie auf Cloud in der Szenensymbolleiste der Referenzfabrik 3D-Karte und wählen Sie einen EUV-Scanner aus. Wählen Sie unter Windows Begehen, klicken Sie in die 3D-Fabrikansicht, um ihr den Fokus zu geben, und nähern Sie sich mit W/S und A/D einem EUV-Scanner.
Wählen Sie die Aktion für die Innenansicht des Scanners, wenn sie erscheint, zum Beispiel Innen ansehen · EUV-Scanner 1 für Scanner 1.
Das Modell verstehen
Die Innenansicht öffnet sich mit ausgeblendeter Hülle und vollständig sichtbarem optischem Pfad. Die Komponentenbeschriftungen helfen Ihnen, den Pfad durch das Modell zu verfolgen.
Lesen Sie den Modellhinweis in der Ansicht.
Wählen Sie Quellen, um das referenzierte Material zu lesen.
Die Innenansicht von EUV-Scanner 1 mit angezeigten optischen Pfaden. Der Bereich Hinweise kennzeichnet das Modell als öffentliche Struktur und konzeptionelle Rekonstruktion.
Zur Fabrik zurückkehren
Wählen Sie Innenansicht schließen, um zur Fabrikszene zurückzukehren.
Die EUV-Struktur ist eine didaktische Rekonstruktion auf Grundlage öffentlicher Informationen und Annahmen, keine gemessenen Gerätedaten.