シードファブの入力と結果を保存する

現在のシード v2 入力を保存し、完了した実行をエクスポートして、保存した入力を開き直します。

入力を準備する

Cloud と Windows 2.1.2.3 の製品メニューから vFactory → ウェーハ工程・ファブ を選択し、工程モデル を選び、モデル で シード付きファブシミュレーション (v2) を選択します。

  1. モデルの入力を確認します。セクション JSON の編集については、セクションを適用 を選択して変更を保持するか、編集を破棄 を選択して現在のセクションに戻ります。

  2. 保存する前に、実行中のインポート、シミュレーション、EUV タイミング操作を完了します。

入力を保存する

  1. 入力を保存 を選択します。

  2. ダウンロードされた vfactory-fab-v2-input.json ファイルを保管します。

  3. 開き直すには、シードモデルで ファブデータを読み込む を選択し、保存した入力 JSON を選びます。

完了した実行をエクスポートする

入力ファイルには、現在のシードモデルと、存在する場合はその EUV タイミングメタデータが保存されます。結果のエクスポートには、実行した入力、エンジンの SHA-256、結果、および存在する場合はその実行の EUV タイミングメタデータが保存されます。

  1. シミュレーションを実行 を選択し、結果を待ちます。

  2. 結果を書き出す を選択し、ダウンロードされた vfactory-fab-v2-result.json ファイルを保管します。

  3. 入力が変更されました が表示された場合は、更新したモデルを実行してから、その入力に対する結果をエクスポートします。