保存种子晶圆厂的输入与结果

保存当前的种子 v2 输入,导出已完成的运行结果,并重新打开已保存的输入。

准备输入

在 Cloud 和 Windows 2.1.2.3 中,从产品菜单选择 vFactory → 晶圆工艺与晶圆厂,选择 工艺模型,然后在 模型 中选择 带种子的晶圆厂模拟(v2)。

  1. 检查模型输入。如果编辑了分区 JSON,请选择 应用区段 保留更改,或选择 放弃区段编辑 返回当前分区。

  2. 保存前,请完成任何正在进行的导入、仿真或 EUV 时序操作。

保存输入

  1. 选择 保存输入数据。

  2. 保留下载的 vfactory-fab-v2-input.json 文件。

  3. 如需重新打开,请在种子模型中选择 导入晶圆厂数据,然后选择已保存的输入 JSON。

导出已完成的运行结果

输入文件会保存当前的种子模型,以及存在时的 EUV 时序元数据。结果导出会保存运行所用的输入、引擎 SHA-256、结果,以及该次运行存在时的 EUV 时序元数据。

  1. 选择 运行仿真 并等待结果。

  2. 选择 导出结果,并保留下载的 vfactory-fab-v2-result.json 文件。

  3. 如果出现 输入已更改,请先运行更新后的模型,再导出这些输入的结果。