Ihr erstes EUV-Budget in vFactory berechnen

Prüfen Sie die Quellen- und Scan-Eingaben, berechnen Sie ein EUV-Budget und lesen Sie die optischen und photonischen Ergebnisse.

Der EUV-Rechner läuft lokal in vFactory auf Cloud oder in der Windows-App. Öffnen Sie vor Beginn vFactory mithilfe der unten verlinkten Anleitung.

Die Referenzfabrik in vFactory öffnen

Die Eingaben prüfen

  1. Wählen Sie die Registerkarte EUV-Berechnung.

  2. Behalten Sie für eine erste Berechnung die ursprüngliche Quellenvoreinstellung und die Eingabewerte bei.

  3. Prüfen Sie Annahmen zu Dosis und Scan und Annahmen zur Photonenberechnung. Klappen Sie auf Cloud Quellen und Annahmen auf, um die Quelle oder Annahme für jede Eingabe zu prüfen. Prüfen Sie unter Windows das Kennzeichen neben dem Wertebereich jeder Eingabe.

EUV-Berechnung vor einer Berechnung: die Quellenvoreinstellung RIKEN 2026 · Einzelstrahl mit den Eingaben der Laserquelle und ihren Bereichen, die ersten Eingaben Mo/Si-Mehrschicht + Ru-Deckschicht, die leeren Abschnitte Lichtbilanz, Planare optische Antwort und Photonenbilanz und Rauschen sowie aufgeklappte Quellen und Annahmen, die für jede Eingabe Experiment RIKEN 2026 oder Annahme aufführen.

Die ursprüngliche Voreinstellung RIKEN 2026 · Einzelstrahl. Quellen und Annahmen zeigt, ob jede Eingabe aus dem Experiment RIKEN 2026 stammt oder eine Annahme ist.

Das Budget berechnen

  1. Wählen Sie EUV berechnen.

  2. Wenn EUV-Berechnung abgeschlossen. erscheint, lesen Sie unter Lichtbilanz die Leistung entlang des optischen Pfads sowie die Dosis- und Zeitergebnisse ab.

  3. Unter Planare optische Antwort finden Sie den Reflexionsgrad nach Wellenlänge und Winkel. Unter Photonenbilanz und Rauschen finden Sie die Photonenzahlen und die ideale Poisson-Varianz.

EUV-Berechnung nach EUV berechnen: die Meldung EUV-Berechnung abgeschlossen., die unveränderten Eingaben RIKEN 2026 · Einzelstrahl und Lichtbilanz mit Leistungsbalken von der Quelle bis zum Wafer von Anregungslaser (40 W) bis Am Wafer sowie der Tabelle Lichtbilanz nach Stufe.

Nach EUV berechnen zeigt Lichtbilanz die Leistung jeder Stufe des optischen Pfads, vom Anregungslaser bis zum Wafer.

Eine Eingabe ändern

Wenn Sie eine Eingabe ändern, wird das vorherige Ergebnis gelöscht. Geben Sie Werte innerhalb der in den Feldern angezeigten Bereiche ein und wählen Sie erneut EUV berechnen.

Die Ausgaben sind Berechnungen aus den angegebenen Eingaben und Annahmen, keine gemessenen Scanner-Durchsatzwerte, Spektren oder Produktionsdaten.