Eingaben für „Vom Entwurf zum Wafer“
Schlagen Sie Quellpaketfelder, numerische Eingabebereiche und Backend-JSON-Werte nach.
Diese Referenz gilt für vFactory in Cloud 2.1.2.10 und Windows 2.1.2.3.
Verwenden Sie diese Werte in Vom Entwurf zum Wafer. Numerische Eingaben verwenden endliche Zahlen; Los- und Waferanzahlen verwenden ganze Zahlen.
Quellpaket
DDS- / Tapeout-Quelldaten importieren akzeptiert eine JSON-Datei bis zu 1 MiB (1048576 Bytes): ein serialisiertes DesignToWaferInput oder {source: DesignSource}. Ein Paket nur mit der Quelle verwendet die Standardannahmen. Die validierte Eingabe umfasst höchstens 32768 Bytes kanonisches JSON.
DesignSource enthält projectId, gdsPath, inputSha256, structure und boundsM. Verwenden Sie einen Hostpfad mit .gds oder .gdsii, einen 64-stelligen hexadezimalen SHA-256 in Kleinbuchstaben und Grenzen [minX, minY, maxX, maxY] in Metern mit positiver Breite und Höhe. Die Geometrie verwendet ein ganzzahliges Nanometerraster.
In Cloud wird jede Die-Seite von 1,5 bis 20 mm akzeptiert, und Route der Referenzfabrik bietet logic-a und logic-b, wobei logic-a standardmäßig ausgewählt ist. Windows verwendet logic-a.
Numerische Werte
Die letzte Losfreigabezeit, (lot count − 1) × release interval, wird bis zu 31536000 Sekunden akzeptiert. Geometrie und abgeleitete Werte werden bei der Vorschauberechnung und Ausführung validiert.
Eingabe | Akzeptierte Werte |
|---|---|
Ritzbreite (µm) | 0–10000 |
Randausschluss (mm) | 0 ≤ Wert < 150 |
Benutzer-D0 (Defekte/cm²) · Annahme | 0–1000000 |
Clusterkoeffizient α | 0 < Wert ≤ 1000000 |
Losanzahl | 1–50 |
Wafer pro Los | 1–1000 |
Freigabeintervall (s) | 0–31536000 |
ISO-Klasse · Annahme | 1–9, einschließlich gebrochener Werte |
Schwellendurchmesser D (µm) | 0,1–5 |
Abwärtsströmung (m/s), Sinkgeschwindigkeit (m/s), Exposition (s) | 0–9007199254740991 |
Ablagerungsanteil (0–1), Anteil kritischer Defekte (0–1) | 0–1 |
Backend-JSON
JSON der nachgelagerten Fertigung importieren akzeptiert das Schema altifigence.vfactory-backend/v1, einen name und steps. Geben Sie 1–32 eindeutig benannte Schritte an, jeweils mit name und durationS. Jede Dauer und ihre Summe werden von 0 bis 31536000 Sekunden akzeptiert. Modell- und Schrittnamen verwenden 1–256 Zeichen ohne führende oder nachgestellte Leerzeichen und ohne ASCII-Steuerzeichen.
Weiterführende Anleitungen
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Layouts, Prozessdaten und Ergebnisse der Referenzfabrik beruhen auf beispielhaften Annahmen.