Comprender la aproximación de concentración de la sala limpia

Los datos de entrada de sala limpia de Del diseño a la oblea relacionan la clase ISO y el flujo descendente con las estimaciones de densidad de defectos y rendimiento. En Cloud y en la aplicación de Windows, los controles deslizantes vinculados usan el entorno de la fábrica de referencia; las vistas previas de distribuciones importadas tienen un entorno separado. Consulte Abre la fábrica de referencia en vFactory para abrir el ejemplo.

De la concentración a la deposición

El cálculo utiliza Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 partículas/m³. N es la clase ISO. D es el umbral de tamaño de partícula en µm: Cn representa las partículas cuyo diámetro es como mínimo D. Se utiliza un único umbral acumulativo, por lo que no se suman poblaciones de umbrales que se solapan.

Partículas depositadas/cm² = Cn × (flujo descendente + velocidad de sedimentación) × exposición × fracción de deposición ÷ 10000. Ambas velocidades se expresan en m/s y la exposición en segundos. El divisor convierte metros cuadrados en centímetros cuadrados.

D0 ambiental = partículas depositadas/cm² × fracción de defectos críticos. El modelo añade esta contribución a D0 del usuario (defectos/cm²) · Supuesto para obtener D0 total (defectos/cm²).

Leer los datos de entrada y las estimaciones

Los controles vinculados permiten clases ISO enteras 1–9 y un flujo descendente de 0–1 m/s. Los datos de entrada independientes de clase ISO pueden incluir valores fraccionarios dentro de 1–9. Umbral D (µm) admite 0.1–5 µm. La velocidad de sedimentación y la exposición son no negativas; las fracciones de deposición y de defectos críticos van de 0 a 1.

Las probabilidades de Poisson, Murphy y binomial negativa usan el área activa del dado en cm² y el D0 total en defectos/cm². Los dados buenos esperados equivalen a las obleas completadas × los dados por oblea × cada probabilidad de rendimiento.

Interpretar los cambios del entorno

Cambiar un control deslizante vinculado recalcula estas estimaciones sobre los mismos lotes simulados. Sus tiempos de ciclo y finalización se mantienen.

La fábrica de referencia y sus valores ambientales son supuestos ilustrativos. La clase ISO proporciona una aproximación de concentración, no una distribución de partículas medida ni una certificación. La correspondencia del entorno con D0 no está calibrada; las probabilidades de rendimiento y los dados buenos esperados son estimaciones, no resultados de producción medidos.