Explore el interior del modelo EUV en vFactory
Abra la vista interior de un escáner EUV, siga su trayectoria óptica y lea sus fuentes.
Utilice el Laboratorio de estructura EUV para inspeccionar un modelo educativo de escáner en Cloud o en la aplicación de Windows. Antes de empezar, abra la fábrica de referencia siguiendo la guía que aparece a continuación.
Abre la fábrica de referencia en vFactory
Abra la vista interior
En Cloud, seleccione Mapa 3D en la barra de herramientas de la escena de la fábrica de referencia y seleccione un escáner EUV. En Windows, seleccione Recorrer, haga clic dentro de la vista 3D de la fábrica para darle el foco y utilice W/S y A/D para acercarse a un escáner EUV.
Seleccione la acción de vista interior del escáner cuando aparezca, como Ver por dentro · escáner EUV 1 para el escáner 1.
Interprete el modelo
La vista interior se abre con la carcasa oculta y toda la trayectoria óptica a la vista. Las etiquetas de los componentes le ayudan a seguir la trayectoria a través del modelo.
Lea el aviso sobre el modelo que aparece en la vista.
Seleccione Fuentes para leer el material de referencia.
La vista interior del escáner EUV 1 con las trayectorias ópticas visibles. El panel Notas identifica el modelo como una estructura pública y una reconstrucción conceptual.
Vuelva a la fábrica
Seleccione Cerrar vista interior para volver a la escena de la fábrica.
La estructura EUV es una reconstrucción educativa basada en información pública y supuestos, no en datos medidos de equipos.