स्वच्छ कक्ष के सांद्रता अनुमान को समझें

अनुभाग “डिज़ाइन से वेफ़र तक” के स्वच्छ कक्ष इनपुट ISO वर्ग और अधोगामी प्रवाह को दोष घनत्व और उपज के अनुमानों से जोड़ते हैं। Cloud और Windows ऐप में जुड़े हुए स्लाइडर संदर्भ फ़ैब के परिवेश का उपयोग करते हैं; आयातित विन्यास पूर्वावलोकन का परिवेश अलग होता है। उदाहरण खोलने के लिए देखें: vFactory में संदर्भ फ़ैब खोलें।

सांद्रता से निक्षेपण तक

गणना में Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 कण/m³ का उपयोग होता है। N, ISO वर्ग है। D, µm में कण आकार की सीमा है: Cn उन कणों को दर्शाता है जिनका व्यास कम से कम D है। इसमें एक संचयी सीमा का उपयोग होता है, इसलिए अलग-अलग सीमाओं की परस्पर आच्छादित कण आबादियों को जोड़ा नहीं जाता।

निक्षेपित कण/cm² = Cn × (अधोगामी प्रवाह + अवसादन गति) × अनावरण × निक्षेपण अंश ÷ 10,000। दोनों गतियाँ m/s में और अनावरण सेकंड में है। भाजक वर्ग मीटर को वर्ग सेंटीमीटर में बदलता है।

परिवेश D0 = निक्षेपित कण/cm² × दोषकारी अंश। मॉडल यह योगदान “उपयोगकर्ता D0 (दोष/cm²) · धारणा” में जोड़कर “कुल D0 (दोष/cm²)” प्राप्त करता है।

इनपुट और अनुमान पढ़ें

जुड़े हुए नियंत्रण पूर्णांक ISO वर्ग 1–9 और अधोगामी प्रवाह 0–1 m/s की अनुमति देते हैं। स्वतंत्र ISO वर्ग इनपुट में 1–9 के भीतर भिन्नात्मक मान भी हो सकते हैं। “सीमा व्यास D (µm)” में 0.1–5 µm स्वीकार्य है। अवसादन गति और अनावरण गैर-ऋणात्मक होते हैं; निक्षेपण और दोषकारी अंश 0 से 1 तक होते हैं।

Poisson, Murphy और ऋणात्मक द्विपद प्रायिकताएँ cm² में सक्रिय डाइ क्षेत्रफल और दोष/cm² में कुल D0 का उपयोग करती हैं। अपेक्षित अच्छे डाइ = पूरे हुए वेफ़र × प्रति वेफ़र डाइ × उपज की प्रत्येक प्रायिकता।

परिवेश में बदलाव समझें

जुड़ा हुआ स्लाइडर बदलने पर इन्हीं सिमुलेट किए गए लॉट पर इन अनुमानों की पुनर्गणना होती है। इनके चक्र और पूरा होने के समय समान रहते हैं।

संदर्भ फ़ैब और उसके परिवेश के मान उदाहरणार्थ धारणाएँ हैं। ISO वर्ग सांद्रता का अनुमान देता है, मापा गया कण वितरण या प्रमाणन नहीं। परिवेश से D0 की मैपिंग का अंशांकन नहीं हुआ है; उपज की प्रायिकताएँ और अपेक्षित अच्छे डाइ अनुमान हैं, मापे गए उत्पादन परिणाम नहीं।