Parámetros del clip EUV
Consulte los valores predeterminados de planificación del clip y los valores de solicitud óptica para la formación local de imágenes EUV.
Esta referencia se aplica a vFactory en Cloud 2.1.2.10 y Windows 2.1.2.3.
Recorte EUV configura la formación local de imágenes de la geometría GDS importada. La geometría y los cortes usan nm de máscara. Proporcione la óptica explícita para formar imágenes localmente.
Planificación del clip
El planificador redondea el halo hacia arriba a un intervalo de ráster entero. Una ejecución acepta hasta 64 mosaicos.
Campo | Valor inicial tras la importación |
|---|---|
Capa y tipo de datos | La capa del primer polígono importado. |
X de la región (nm de máscara), Y de la región (nm de máscara) | Los valores mínimos de X e Y del primer polígono importado. |
Anchura de la región (nm de máscara), Altura de la región (nm de máscara) | La extensión del primer polígono, acotada entre 4 y 512 nm en cada eje. |
Resolución de rasterización (nm de máscara) | 4 |
Halo de margen (nm de máscara) | 32 |
Tamaño de tesela (nm de máscara) | 512 |
Solicitud óptica
Los intervalos siguientes son los valores que muestran las entradas numéricas. Los valores de desenfoque son números finitos distintos separados por comas.
Campo | Valor inicial; valores de entrada |
|---|---|
Longitud de onda (nm) | 13,5; desde 0,001 |
Apertura numérica | 0,33; 0,001–0,55 |
Obstrucción | 0; 0–0,999 |
Fuente de iluminación | Convencional; Convencional, Anular, Dipolo, Cuadrupolo, Fuente por píxeles |
Lista de desenfoques (nm) | 0; entre 1 y 32 valores |
Umbral (Iref = 1) | 0,5; desde 0,001 |
Anchura de la cuadrícula de salida, Altura de la cuadrícula de salida | 64 cada uno; enteros de 2 a 512 |
Ajustes ópticos avanzados
Datos ópticos explícitos (JSON) contiene stack, absorber, chiefRayDeg, polarization, transport y reflectionPlaneNm. El índice del medio circundante es {re: 1, im: 0}; la polarización es x o y; el transporte es ideal-vector-v1 o euvlitho-vector-v1.
Polinomios de Zernike (JSON) acepta hasta 37 términos con índices Noll distintos de 1 a 37 y coefficientWaves en ondas. Puntos de la fuente por píxeles (JSON) acepta entre 1 y 256 puntos dentro de la pupila unitaria, con pesos no negativos y un total positivo.
Parámetros numéricos (JSON; null usa el valor del motor) acepta null, o refinements de 2 o 3 con un method opcional de abbe, hopkins o socs. Muestreo de máscara (JSON; null usa el valor del motor) acepta null, muestreo continuo o muestreo por píxeles con anchura y altura enteras de 1 a 8192.
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