Comprendre l’approximation de concentration en salle blanche

Les entrées de salle blanche de « De la conception à la tranche » relient la classe ISO et le flux descendant aux estimations de densité de défauts et de rendement. Dans Cloud et dans l’application Windows, les curseurs liés utilisent l’environnement de l’usine de référence ; les aperçus de dispositions importées ont un environnement distinct. Consultez « Ouvrir l’usine de référence dans vFactory » pour ouvrir l’exemple.

De la concentration au dépôt

Le calcul utilise Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 particules/m³. N est la classe ISO. D est le seuil de taille des particules en µm : Cn représente les particules d’un diamètre au moins égal à D. Le calcul utilise un seul seuil cumulatif ; les populations correspondant à des seuils qui se chevauchent ne sont donc pas additionnées.

Particules déposées/cm² = Cn × (flux descendant + vitesse de sédimentation) × exposition × fraction de dépôt ÷ 10000. Les deux vitesses sont en m/s et l’exposition en secondes. Le diviseur convertit les mètres carrés en centimètres carrés.

D0 environnemental = particules déposées/cm² × fraction de défauts critiques. Le modèle ajoute cette contribution à « D0 utilisateur (défauts/cm²) · Hypothèse » pour obtenir « D0 total (défauts/cm²) ».

Lire les entrées et les estimations

Les commandes liées acceptent les classes ISO entières 1–9 et un flux descendant de 0–1 m/s. Les entrées indépendantes de classe ISO peuvent inclure des valeurs fractionnaires dans la plage 1–9. « Seuil D (µm) » accepte 0.1–5 µm. La vitesse de sédimentation et l’exposition sont non négatives ; les fractions de dépôt et de défauts critiques vont de 0 à 1.

Les probabilités de Poisson, de Murphy et binomiale négative utilisent la surface active de la puce en cm² et le D0 total en défauts/cm². Le nombre attendu de puces fonctionnelles est égal au nombre de tranches terminées × puces par tranche × chaque probabilité de rendement.

Interpréter les changements d’environnement

La modification d’un curseur lié recalcule ces estimations sur les mêmes lots simulés. Leurs temps de cycle et d’achèvement restent identiques.

L’usine de référence et ses valeurs environnementales sont des hypothèses illustratives. La classe ISO fournit une approximation de concentration, et non une distribution de particules mesurée ni une certification. La correspondance entre l’environnement et D0 n’est pas étalonnée ; les probabilités de rendement et le nombre attendu de puces fonctionnelles sont des estimations, et non des résultats de production mesurés.