了解洁净室浓度代理指标

在 从设计到晶圆 中，洁净室输入将 ISO 等级和向下气流关联到缺陷密度与良率估计。在 Cloud 和 Windows 应用中，已关联的滑块使用参考晶圆厂环境；导入的布局预览则有独立环境。请参阅 在 vFactory 中打开参考晶圆厂 以打开示例。

从浓度到沉积

计算使用 Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 particles/m³。N 是 ISO 等级。D 是以 µm 为单位的粒径阈值：Cn 代表直径至少为 D 的颗粒。计算采用单一累积阈值，因此不会将不同阈值下重叠的颗粒群相加。

沉积颗粒数/cm² = Cn ×（向下气流 + 沉降速度）× 暴露时间 × 沉积比例 ÷ 10,000。两个速度的单位均为 m/s，暴露时间以秒计。除数用于将平方米换算为平方厘米。

环境 D0 = 沉积颗粒数/cm² × 致命缺陷比例。模型将此贡献值加到 用户 D0 (缺陷/cm²) · 假设 以得到 总 D0 (缺陷/cm²)。

查看输入和估计值

已关联的控件允许整数 ISO 等级 1–9，以及 0–1 m/s 的向下气流。独立的 ISO 等级输入可包含 1–9 范围内的小数值。粒径阈值 D (µm) 接受 0.1–5 µm。沉降速度和暴露时间必须非负；沉积比例和致命缺陷比例的范围为 0 到 1。

Poisson、Murphy 和负二项概率使用以 cm² 为单位的有效裸片面积，以及以 defects/cm² 为单位的总 D0。预期良品裸片数等于已完成晶圆数 × 每片晶圆的裸片数 × 各良率概率。

解读环境更改

更改已关联的滑块，会针对相同的仿真批次重新计算这些估计值。其周期时间和完成时间保持不变。

参考晶圆厂及其环境数值是示意假设。ISO 等级提供浓度代理指标，并非实测颗粒分布或认证。环境到 D0 的映射未经校准；良率概率和预期良品裸片数是估计值，并非实测生产结果。