Entradas de «Del diseño a la oblea»
Consulte los campos del paquete de origen, los intervalos de entrada numérica y los valores del JSON del proceso posterior.
Esta referencia se aplica a vFactory en Cloud 2.1.2.10 y Windows 2.1.2.3.
Utilice estos valores en Del diseño a la oblea. Las entradas numéricas usan números finitos; las cantidades de lotes y obleas usan números enteros.
Paquete de origen
Importar origen DDS / de entrega a fabricación acepta un archivo JSON de hasta 1 MiB (1048576 bytes): un DesignToWaferInput serializado o {source: DesignSource}. Un paquete que contiene solo el origen usa los supuestos predeterminados. La entrada validada cabe en 32768 bytes de JSON canónico.
DesignSource contiene projectId, gdsPath, inputSha256, structure y boundsM. Utilice una ruta de host .gds o .gdsii, un valor hexadecimal en minúsculas de 64 caracteres para SHA-256 y límites [minX, minY, maxX, maxY] en metros con anchura y altura positivas. La geometría usa una cuadrícula de nanómetros enteros.
En Cloud, cada lado del chip acepta de 1,5 a 20 mm y Ruta de la fábrica de referencia ofrece logic-a y logic-b, con logic-a seleccionado de forma predeterminada. Windows usa logic-a.
Valores numéricos
El tiempo de liberación del último lote, (lot count − 1) × release interval, se acepta hasta 31536000 segundos. La geometría y los valores derivados se validan durante el cálculo de vista previa y la ejecución.
Entrada | Valores aceptados |
|---|---|
Ancho de corte (µm) | 0–10000 |
Exclusión de borde (mm) | 0 ≤ valor < 150 |
D0 del usuario (defectos/cm²) · Supuesto | 0–1000000 |
Coeficiente de agrupamiento α | 0 < valor ≤ 1000000 |
Cantidad de lotes | 1–50 |
Obleas por lote | 1–1000 |
Intervalo de lanzamiento (s) | 0–31536000 |
Clase ISO · Supuesto | 1–9, incluidos valores fraccionarios |
Umbral D (µm) | 0,1–5 |
Flujo descendente (m/s), Velocidad de sedimentación (m/s), Exposición (s) | 0–9007199254740991 |
Fracción de deposición (0–1), Fracción de defectos críticos (0–1) | 0–1 |
JSON del proceso posterior
Importar JSON de procesos finales acepta el esquema altifigence.vfactory-backend/v1, un name y steps. Proporcione entre 1 y 32 pasos con nombres únicos, cada uno con name y durationS. Cada duración y su suma se aceptan entre 0 y 31536000 segundos. Los nombres de modelos y pasos tienen de 1 a 256 caracteres, sin espacios en los extremos ni caracteres de control ASCII.
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