Pausar y reanudar etapas DUV
Cree un punto de control después de cada etapa DUV planar completada, pause al finalizar una etapa y continúe desde la siguiente. Estos pasos se aplican a Cloud 2.1.2.10 y Windows 2.1.2.3.
Iniciar una ejecución por etapas
En vFactory, abra Modelos de proceso y elija Enlace del proceso DUV.
Utilice un flujo planar con etapas de deposición, difusión, rampa térmica o grabado. Abra Más acciones y seleccione Ejecutar con puntos de control por etapa. Un punto de control registra cada etapa completada.
Pausar y continuar
En Cloud, seleccione Pausar tras esta etapa junto al progreso de la ejecución. En Windows, abra Más acciones y seleccione Pausar tras esta etapa.
Espere a que termine la etapa actual. El punto de control conservado identifica la etapa completada.
Abra Más acciones y seleccione Reanudar la etapa siguiente para continuar con la siguiente etapa sin finalizar utilizando el perfil y el tiempo transcurrido conservados.
Conservar un punto de control
Durante una ejecución, Cancelar segmento DUV detiene la ejecución y conserva los puntos de control completados. Más acciones > Guardar archivo de flujo DUV incluye el punto de control en el archivo de flujo.
Mantenga sin cambios las entradas de oblea y fábrica, la asignación de etapas y los identificadores de oblea, lote y ruta para reanudar. La aplicación comprueba los hashes de entrada y resultado del punto de control y la identidad del motor antes de continuar.