Приближение концентрации частиц в чистой комнате

Проследите допущения от класса ISO и нисходящего потока до D0 среды и оценок выхода годных.

Входные данные чистой комнаты в разделе «От проекта к пластине» связывают класс ISO и нисходящий поток с оценками плотности дефектов и выхода годных. В Cloud и приложении Windows связанные ползунки используют среду эталонной фабрики; у предпросмотров импортированных планировок отдельная среда. См. руководство «Откройте эталонную фабрику в vFactory», чтобы открыть пример.

Приближение концентрации частиц в чистой комнате

  1. Среда чистой комнаты · Допущения

    Класс ISO · Допущение

    Пороговый диаметр D (µm)

  2. Приближение Cn (частиц/m³)

    Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08

  3. Осевшие частицы/cm²

    Нисходящий поток (m/s)

    Скорость осаждения (m/s)

    Экспозиция (s)

    Доля осевших частиц (0–1)

  4. D0 среды (дефектов/cm²)

    Доля критических дефектов (0–1)

От концентрации к осаждению

Расчёт использует Cn = 10^N × (0.1/D)^2.08 частиц/m³. N — класс ISO. D — порог размера частиц в µm: Cn представляет частицы с диаметром не менее D. Используется один накопительный порог, поэтому перекрывающиеся совокупности частиц для разных порогов не суммируются.

Осевшие частицы/cm² = Cn × (нисходящий поток + скорость осаждения) × экспозиция × доля осевших частиц ÷ 10000. Обе скорости заданы в m/s, а экспозиция — в секундах. Делитель переводит квадратные метры в квадратные сантиметры.

D0 среды = осевшие частицы/cm² × доля критических дефектов. Модель добавляет этот вклад к значению поля «Пользовательский D0 (дефектов/cm²) · Допущение», чтобы получить значение «Суммарный D0 (дефектов/cm²)».

Прочитайте входные данные и оценки

Связанные элементы управления допускают целые классы ISO 1–9 и нисходящий поток 0–1 m/s. Независимые входные данные класса ISO могут включать дробные значения в пределах 1–9. «Пороговый диаметр D (µm)» допускает 0.1–5 µm. Скорость осаждения и экспозиция неотрицательны; доля осевших частиц и доля критических дефектов находятся в диапазоне от 0 до 1.

Вероятности по Пуассону, Мёрфи и отрицательному биномиальному распределению используют активную площадь кристалла в cm² и суммарный D0 в дефектах/cm². Ожидаемое число годных кристаллов равно числу обработанных пластин × числу кристаллов на пластине × каждой вероятности выхода годных.

Интерпретируйте изменения среды

Изменение связанного ползунка пересчитывает эти оценки для тех же смоделированных партий. Их время цикла и время завершения остаются прежними.

Эталонная фабрика и значения её среды являются иллюстративными допущениями. Класс ISO даёт приближение концентрации, а не измеренное распределение частиц или сертификацию. Преобразование среды в D0 не откалибровано; вероятности выхода годных и ожидаемое число годных кристаллов являются оценками, а не измеренными результатами производства.