Crear una receta de proceso de obleas

Establezca los materiales, las capas iniciales y los pasos de proceso que utiliza un modelo de oblea.

Abrir la receta de oblea

En el menú de productos, seleccione vFactory → Proceso de obleas y fabricación y, a continuación, Modelos de proceso. En Modelo, elija Proceso de oblea. Estos pasos se aplican a Cloud y Windows 2.1.2.3. El ejemplo inicial proporciona materiales, capas y una secuencia de proceso que puede editar.

Para conocer el menú de productos y realizar su primera ejecución, consulte la guía del primer proceso enlazada a continuación.

Establecer materiales y capas iniciales

  1. Introduzca un Nombre de la receta. En Coeficientes de materiales, establezca cada ID de material y sus valores D₀ (nm²/s) y Eₐ (eV). Seleccione Añadir material para añadir otro material.

  2. En Capas iniciales desde la superficie, elija el material de cada capa e introduzca su espesor en nm, número de celdas y concentración en cm⁻³. La primera capa es la capa superficial.

  3. Seleccione Añadir capa inferior para añadir una capa debajo de las existentes.

Modelos de proceso con Modelo establecido en Proceso de oblea y la receta de ejemplo Planar layer example. En Coeficientes de materiales figuran Material 1 substrate (D₀ 10 nm²/s, Eₐ 0 eV) y Material 2 film (D₀ 2 nm²/s, Eₐ 0 eV), cada uno con una nota que indica que lo usan capas o pasos de proceso, y un botón Añadir material. En Capas iniciales desde la superficie hay una capa con el material substrate, espesor 100 nm, 80 celdas y concentración 1000000000000000 cm⁻³, y un botón Añadir capa inferior.

El ejemplo inicial tiene dos materiales y una capa superficial. Cambie aquí los ID de material, los coeficientes y los valores de la capa, o utilice Añadir material y Añadir capa inferior.

Al cambiar un ID de material, se actualizan sus referencias en la receta. Un material utilizado por una capa o un paso de proceso permanece disponible hasta que se cambien esas referencias.

Añadir pasos de proceso

  1. En Secuencia del proceso, seleccione Añadir deposición, Añadir grabado, Añadir difusión o Añadir rampa térmica. Los pasos nuevos aparecen al final de la secuencia.

  2. Asigne a cada paso Nombre del paso y Duración (s). Para la deposición, elija el material, la tasa de crecimiento, las celdas nuevas y la concentración depositada. Para el grabado, establezca una tasa para cada material.

  3. Para la difusión, establezca la temperatura y el paso de tiempo máximo. Para una rampa térmica, establezca las temperaturas inicial y final y el paso de tiempo máximo.

  4. Para cualquiera de los dos pasos de difusión, elija las condiciones de contorno superior e inferior. Elija Sin flujo o Concentración fija; esta última opción también muestra un campo de concentración.

  5. Seleccione Ejecutar simulación para calcular la receta. Utilice Guardar entradas para guardar las entradas actuales como JSON.

Secuencia del proceso de la receta de ejemplo con tres pasos. 1. deposición, Deposit doped film: Duración (s) 10, Material depositado film, tasa de crecimiento 2 nm/s y 16 celdas nuevas. 2. difusión, Anneal layers: Duración (s) 30, 1000 K, paso de tiempo máximo 0.1 s, y Sin flujo como Condición de contorno superior y Condición de contorno inferior. 3. grabado, Selective film etch: Duración (s) 8, tasa de grabado de substrate 0.1 nm/s y tasa de grabado de film 1 nm/s. También se muestran los botones Añadir deposición, Añadir grabado, Añadir difusión, Añadir rampa térmica, Añadir implantación iónica y Añadir CMP.

Cada paso tiene su propio Nombre del paso, su propia Duración (s) y sus propias entradas del paso. El paso de difusión también establece Condición de contorno superior y Condición de contorno inferior.

Ejecuta tu primer modelo de proceso en vFactory

Las entradas de ejemplo son supuestos sintéticos. Los resultados simulan el modelo proporcionado, no datos de producción medidos.