Comprenda el modelo de estructura EUV y los cálculos
Distinga el modelo de estructura educativo de los resultados del balance óptico y lea los supuestos de cada vista.
La vista de estructura EUV y la calculadora de vFactory responden a preguntas diferentes. Ambas están disponibles en Cloud y en la aplicación de Windows.
Estructura EUV y cálculo óptico
Distinga el modelo de estructura educativo de los resultados del balance óptico y lea los supuestos de cada vista.
Entradas
- 1. Reconstrucción · supuestos: estructura pública, dimensiones supuestas
- 3. Entradas ópticas
Modelo / acción
- 2. Reconstrucción educativa
- 4. Calcular EUV
Resultados
- 5. Balance de luz
- 6. Respuesta óptica planar
- 7. Balance de fotones y ruido
Conexiones
- 1. Reconstrucción · supuestos: estructura pública, dimensiones supuestas → 2. Reconstrucción educativa: →
- 3. Entradas ópticas → 4. Calcular EUV: →
- 4. Calcular EUV → 5. Balance de luz: →
- 4. Calcular EUV → 6. Respuesta óptica planar: →
- 4. Calcular EUV → 7. Balance de fotones y ruido: →
Usa vFactory: explora una fábrica y sigue un diseño hasta la oblea
Qué muestra el modelo de estructura
La vista interior de Fábrica de referencia muestra una reconstrucción educativa de un escáner. Le ayuda a seguir la trayectoria óptica e identificar los componentes.
La geometría del modelo y la disposición de sus componentes se basan en información pública y supuestos. Seleccione Fuentes en la vista interior para leer el material de referencia.
Qué calcula el balance óptico
Cálculo EUV utiliza las entradas de fuente, multicapa, dosis, barrido y fotones que usted proporciona. Calcula la potencia a lo largo de la trayectoria óptica, la respuesta óptica planar y los recuentos de fotones con varianza de Poisson ideal.
Al cambiar una entrada, se borra el resultado anterior. Vuelva a calcular para obtener un resultado con las nuevas entradas.
Lea los supuestos junto con el resultado
En Cloud, despliegue Fuentes y supuestos para comprobar la fuente o el supuesto de cada entrada. En Windows, compruebe la etiqueta junto al rango de cada entrada. Conserve los valores de entrada junto con cualquier comparación que haga entre cálculos.
Una vista estructural explica la disposición del modelo; un balance proporciona valores calculados para sus entradas. Interprete cada uno con sus propios supuestos.
El modelo de estructura es una reconstrucción y los resultados de los cálculos dependen de los supuestos proporcionados; no son mediciones de un escáner ni de una fábrica reales.