Calcule su primer balance EUV en vFactory
Revise las entradas de la fuente y del barrido, calcule un balance EUV y lea los resultados ópticos y de fotones.
La calculadora EUV se ejecuta localmente en vFactory en Cloud o en la aplicación de Windows. Antes de empezar, abra vFactory siguiendo la guía que aparece a continuación.
Abre la fábrica de referencia en vFactory
Revise las entradas
Seleccione la pestaña Cálculo EUV.
Para un primer cálculo, mantenga el ajuste preestablecido inicial de la fuente y los valores de entrada.
Revise Supuestos de dosis y barrido y Supuestos de fotones. En Cloud, despliegue Fuentes y supuestos para comprobar la fuente o el supuesto de cada entrada. En Windows, compruebe la etiqueta junto al rango de cada entrada.
El preajuste inicial RIKEN 2026 · Haz único. Fuentes y supuestos muestra si cada entrada procede del experimento RIKEN 2026 o es un supuesto.
Calcule el balance
Seleccione Calcular EUV.
Cuando aparezca Cálculo EUV completado., lea Balance de luz para consultar la potencia a lo largo de la trayectoria óptica y los resultados de dosis y tiempos.
Lea Respuesta óptica planar para consultar la reflectancia según la longitud de onda y el ángulo. Lea Balance de fotones y ruido para consultar los recuentos de fotones y la varianza de Poisson ideal.
Después de Calcular EUV, Balance de luz muestra la potencia en cada etapa de la trayectoria óptica, desde el láser de excitación hasta la oblea.
Cambie una entrada
Al cambiar una entrada, se borra el resultado anterior. Introduzca valores dentro de los intervalos que muestran los campos y vuelva a seleccionar Calcular EUV.
Los resultados son cálculos basados en las entradas y los supuestos proporcionados, no mediciones del rendimiento del escáner, espectros ni datos de producción.