Nhập nguồn thiết kế

Tải gói JSON đầu vào thiết kế vào vFactory và xem lại nguồn của gói trước khi tính bản xem trước hoặc chạy nhà máy tham chiếu.

Nhập gói của bạn

Trong menu sản phẩm, chọn vFactory → Quy trình wafer và nhà máy, rồi chọn Từ thiết kế đến wafer. Các bước nhập này áp dụng cho Cloud và Windows 2.1.2.3.

  1. Chọn Nhập nguồn DDS / bàn giao chế tạo và chọn tệp JSON có kích thước tối đa 1 MiB.

  2. Chờ thông báo Đã nhập gói dữ liệu nguồn.

  3. Xem lại Dự án nguồn, Đường dẫn GDS, Cấu trúc, Kích thước khuôn từ hộp bao GDS và SHA-256 của nguồn.

  4. Xem lại các đầu vào về hình học, tỷ lệ đạt, môi trường và lô trước khi chọn Tính bản xem trước hoặc Chạy từ thiết kế đến wafer.

Chuẩn bị JSON

Sử dụng đối tượng DesignToWaferInput đầy đủ hoặc gói chỉ chứa nguồn với đúng một khóa cấp cao nhất là source. Đối tượng source chứa projectId, gdsPath, inputSha256, structure và boundsM. boundsM là [minX, minY, maxX, maxY], tính bằng mét. Sử dụng đường dẫn .gds hoặc .gdsii và giá trị SHA-256 gồm 64 ký tự thập lục phân viết thường.

Đầu vào đầy đủ còn chứa scribeUm, edgeExclusionMm, d0PerCm2, alpha, lotCount, wafersPerLot, releaseIntervalS và environment. Đối tượng environment chứa isoClass, particleDiameterUm, downflowMPerS, settlingMPerS, exposureS, depositionFraction và killerFraction. Cung cấp các số dưới dạng số JSON. Gói chỉ chứa nguồn bắt đầu với các giá trị mặc định của bàn làm việc; gói đầy đủ cung cấp các giả định riêng.

Trong Cloud, mỗi cạnh die đo từ boundsM phải nằm trong khoảng 1,5–20 mm. Cloud cũng chấp nhận các giá trị routeId tùy chọn là logic-a và logic-b. Với Windows 2.1.2.3, hãy chuẩn bị gói bằng các trường nguồn và đầu vào nêu trên.

Xem lại và chạy

Tính bản xem trước hiển thị hình học wafer 300 mm và các ước tính tỷ lệ đạt. Chạy từ thiết kế đến wafer bắt đầu mô phỏng nhà máy tham chiếu. Khi đã kết nối dự án, hãy sử dụng dự án được xác định trong Dự án nguồn để chạy và lưu thiết kế.

Trong dự án Cloud có hỗ trợ khả năng này, trình xem GDS của Digital Design Studio cũng cung cấp Gửi tới vFactory cho cấu trúc đã được chiếu. Thao tác chuyển này mở thiết kế để bạn xem lại tuyến và số lượng lô trước khi chọn Chạy từ thiết kế đến wafer.

Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer

Nhà máy tham chiếu sử dụng các giả định quy trình tổng hợp. Kết quả là các ước tính của mô hình.