Hiểu mô hình cấu trúc EUV và các phép tính

Khung nhìn cấu trúc EUV và bộ tính của vFactory trả lời các câu hỏi khác nhau. Cả hai đều có trên Cloud và trong ứng dụng Windows.

Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer

Mô hình cấu trúc thể hiện điều gì

Khung nhìn bên trong của Nhà máy tham chiếu thể hiện bản tái dựng máy quét phục vụ học tập. Nó giúp bạn theo dõi đường quang và nhận biết các thành phần.

Hình học và cách bố trí thành phần của mô hình dựa trên thông tin công khai và các giả định. Chọn Nguồn trong khung nhìn bên trong để đọc tài liệu tham khảo.

Ngân sách quang học tính những gì

Tính toán EUV dùng các đầu vào về nguồn, đa lớp, liều, quét và photon do bạn cung cấp. Nó tính công suất dọc đường quang, đáp ứng quang học phẳng và số photon với phương sai Poisson lý tưởng.

Thay đổi đầu vào sẽ xóa kết quả trước đó. Tính lại để lấy kết quả cho đầu vào mới.

Đọc các giả định cùng với kết quả

Trên Cloud, mở rộng Nguồn và giả định để xem nguồn hoặc giả định của từng đầu vào. Trên Windows, xem nhãn cạnh phạm vi của từng đầu vào. Giữ lại các giá trị đầu vào khi so sánh giữa các phép tính.

Khung nhìn cấu trúc giải thích cách bố trí của mô hình; ngân sách đưa ra các giá trị tính toán cho đầu vào. Hãy đọc mỗi phần cùng các giả định riêng của phần đó.

Mô hình cấu trúc là bản tái dựng và kết quả tính phụ thuộc vào các giả định được cung cấp; chúng không phải phép đo máy quét hay fab thực tế.