Đầu vào của “Từ thiết kế đến wafer”
Tra cứu các trường gói nguồn, khoảng đầu vào số và giá trị JSON công đoạn sau.
Tài liệu tham chiếu này áp dụng cho vFactory trên Cloud 2.1.2.10 và Windows 2.1.2.3.
Sử dụng các giá trị này trong Từ thiết kế đến wafer. Đầu vào số dùng số hữu hạn; số lô và số wafer dùng số nguyên.
Gói nguồn
Nhập nguồn DDS / bàn giao chế tạo chấp nhận tệp JSON tối đa 1 MiB (1048576 byte): DesignToWaferInput đã tuần tự hóa hoặc {source: DesignSource}. Gói chỉ có nguồn sử dụng các giả định mặc định. Đầu vào đã xác thực nằm trong 32768 byte JSON chuẩn tắc.
DesignSource chứa projectId, gdsPath, inputSha256, structure và boundsM. Sử dụng đường dẫn của môi trường đang dùng .gds hoặc .gdsii, chuỗi thập lục phân viết thường gồm 64 ký tự cho SHA-256 và giới hạn [minX, minY, maxX, maxY] bằng mét với chiều rộng và chiều cao dương. Hình học dùng lưới nanomét nguyên.
Trên Cloud, mỗi cạnh die chấp nhận từ 1,5 đến 20 mm và Tuyến nhà máy tham chiếu cung cấp logic-a cùng logic-b, với logic-a được chọn mặc định. Windows dùng logic-a.
Giá trị số
Thời điểm phát hành lô cuối, (lot count − 1) × release interval, được chấp nhận tối đa 31536000 giây. Hình học và giá trị suy ra được xác thực khi tính bản xem trước và khi thực thi.
Đầu vào | Giá trị được chấp nhận |
|---|---|
Chiều rộng đường cắt (µm) | 0–10000 |
Vùng loại trừ mép (mm) | 0 ≤ giá trị < 150 |
D0 người dùng (khuyết tật/cm²) · Giả định | 0–1000000 |
Hệ số kết cụm α | 0 < giá trị ≤ 1000000 |
Số lô | 1–50 |
Số wafer mỗi lô | 1–1000 |
Khoảng phát hành (s) | 0–31536000 |
Cấp ISO · Giả định | 1–9, gồm cả giá trị phân số |
Ngưỡng D (µm) | 0,1–5 |
Luồng khí xuống (m/s), Tốc độ lắng (m/s), Thời gian phơi nhiễm (s) | 0–9007199254740991 |
Tỷ phần lắng đọng (0–1), Tỷ phần gây lỗi nghiêm trọng (0–1) | 0–1 |
JSON công đoạn sau
Nhập JSON công đoạn sau chế tạo chấp nhận lược đồ altifigence.vfactory-backend/v1, một name và steps. Cung cấp 1–32 bước có tên riêng biệt, mỗi bước có name và durationS. Mỗi thời lượng và tổng của chúng được chấp nhận từ 0 đến 31536000 giây. Tên mô hình và bước có 1–256 ký tự, không có khoảng trắng ở hai đầu và không chứa ký tự điều khiển ASCII.
Hướng dẫn liên quan
Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer
Bố trí fab tham chiếu, dữ liệu quy trình và kết quả sử dụng các giả định minh họa.