Hiểu ước tính tỷ lệ đạt trong vFactory
Đọc đầu vào mật độ khuyết tật và xác suất của ba mô hình.
Mật độ khuyết tật
Trong Cloud vFactory, “Ước tính hình học và tỷ lệ đạt” tập hợp hình học wafer, các giả định về mật độ khuyết tật và xác suất tỷ lệ đạt.
Hiểu ước tính tỷ lệ đạt trong vFactory
Đọc đầu vào mật độ khuyết tật và xác suất của ba mô hình.
Giả định mô hình
- 1. D0 người dùng (khuyết tật/cm²) · Giả định
- 2. D0 môi trường (khuyết tật/cm²)
- 4. Diện tích khuôn (cm²)
- 5. Hệ số kết cụm α
Tổng D0 (khuyết tật/cm²)
- 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²)
Xác suất tỷ lệ đạt
- 6. Xác suất Poisson
- 7. Xác suất Murphy
- 8. Xác suất nhị thức âm
Kết nối
- 1. D0 người dùng (khuyết tật/cm²) · Giả định → 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²): +
- 2. D0 môi trường (khuyết tật/cm²) → 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²): +
- 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²) → 6. Xác suất Poisson: D0
- 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²) → 7. Xác suất Murphy: D0
- 3. Tổng D0 (khuyết tật/cm²) → 8. Xác suất nhị thức âm: D0
- 4. Diện tích khuôn (cm²) → 6. Xác suất Poisson: A
- 4. Diện tích khuôn (cm²) → 7. Xác suất Murphy: A
- 4. Diện tích khuôn (cm²) → 8. Xác suất nhị thức âm: A
- 5. Hệ số kết cụm α → 8. Xác suất nhị thức âm: α
“D0 người dùng (khuyết tật/cm²) · Giả định” cộng “D0 môi trường (khuyết tật/cm²)” bằng “Tổng D0 (khuyết tật/cm²)”. D0 có đơn vị khuyết tật/cm². Đóng góp của môi trường được tính từ các giả định về phòng sạch.
Ba mô hình
“Xác suất Poisson”, “Xác suất Murphy” và “Xác suất nhị thức âm” dùng cùng diện tích khuôn tính bằng cm² và tổng D0. Mô hình nhị thức âm còn dùng α để điều chỉnh sự kết cụm. Hãy cân nhắc các giả định khi so sánh ba xác suất.
Các ước tính là đầu ra mô hình dựa trên những giả định đã nêu, không phải tỷ lệ đạt đo được, chứng nhận hay dự đoán cho một nhà máy thực tế.