Tạm dừng và tiếp tục các giai đoạn DUV
Tạo điểm kiểm tra sau mỗi giai đoạn DUV phẳng đã hoàn tất, tạm dừng tại ranh giới giai đoạn rồi tiếp tục từ giai đoạn kế tiếp. Các bước này áp dụng cho Cloud 2.1.2.10 và Windows 2.1.2.3.
Bắt đầu chạy theo giai đoạn
Trong vFactory, mở Mô hình quy trình, rồi chọn Liên kết công đoạn DUV.
Dùng luồng phẳng có các giai đoạn lắng đọng, khuếch tán, tăng nhiệt theo chương trình hoặc khắc. Mở Thao tác khác và chọn Chạy với điểm lưu từng bước. Điểm kiểm tra ghi lại từng giai đoạn đã hoàn tất.
Tạm dừng và tiếp tục
Trên Cloud, chọn Tạm dừng sau bước này cạnh tiến trình đang chạy. Trên Windows, mở Thao tác khác và chọn Tạm dừng sau bước này.
Chờ giai đoạn hiện tại hoàn tất. Điểm kiểm tra được giữ lại xác định giai đoạn đã hoàn tất.
Mở Thao tác khác và chọn Tiếp tục bước kế tiếp để tiếp tục giai đoạn chưa hoàn tất kế tiếp bằng biên dạng và thời gian đã trôi qua được giữ lại.
Giữ điểm kiểm tra
Trong khi chạy, Hủy phân đoạn DUV dừng thực thi và giữ lại các điểm kiểm tra đã hoàn tất. Thao tác khác > Lưu tệp quy trình DUV đưa điểm kiểm tra vào tệp luồng.
Giữ nguyên đầu vào wafer và fab, ánh xạ giai đoạn cùng các mã định danh wafer, lô và tuyến để tiếp tục. Ứng dụng kiểm tra mã băm đầu vào, kết quả của điểm kiểm tra và danh tính bộ máy trước khi tiếp tục.