Đặt thiết bị và chỉnh sửa điểm trung gian tuyến

Mở các điều khiển bố trí

Các bước này áp dụng cho Cloud và Windows 2.1.2.3. Trong menu sản phẩm, chọn vFactory → Quy trình wafer và nhà máy. Chọn Mô hình quy trình, chọn Mô phỏng nhà máy trong Mô hình, rồi chọn Cảnh nhà máy theo tỷ lệ (xem trước). Chọn Bản đồ 2D trên thanh công cụ cảnh và mở Cài đặt nhà máy.

Đặt và di chuyển thiết bị

1. Trong Vị trí thiết bị, chọn một vị trí quy trình. Với vị trí chưa được bố trí, chọn Đặt vào cảnh trong Lựa chọn.

2. Kéo công cụ đã được đặt trên mặt bằng 2D để di chuyển theo lưới bắt dính. Để đặt vị trí bằng số, chỉnh sửa Đông (X) và Bắc (Y) trong Lựa chọn; các tọa độ này dùng mét.

3. Khi vùng nhìn cảnh được lấy tiêu điểm, nhấn phím mũi tên để di chuyển lựa chọn theo lưới bắt dính. Giữ Shift cùng phím mũi tên để di chuyển 10 mm.

Xoay hoặc xóa bố trí

1. Chọn công cụ đã được đặt và chỉnh sửa Góc quay, hoặc chọn Xoay 90° theo chiều kim đồng hồ hay Xoay 90° ngược chiều kim đồng hồ.

2. Chọn Xóa vị trí để đưa vị trí quy trình của công cụ đó về trạng thái chưa được bố trí. Chọn vị trí trong Vị trí thiết bị và chọn Đặt vào cảnh để đặt lại.

3. Dùng Hoàn tác sửa cảnh hoặc Làm lại sửa cảnh để đi qua các chỉnh sửa cảnh.

Chỉnh sửa điểm trung gian tuyến

1. Mở rộng Đường và chọn Đường. Với đoạn nối hai nhóm thiết bị đã được đặt, chọn Thêm điểm đường.

2. Kéo dấu điểm trung gian trên mặt bằng 2D hoặc lấy tiêu điểm vùng nhìn và di chuyển điểm trung gian được chọn bằng các phím mũi tên.

3. Chọn nút điểm trung gian trong Đường, rồi chọn Xóa điểm đường trong Lựa chọn để xóa điểm trung gian đó.

Lưu cảnh sau khi chỉnh sửa thiết bị và các điểm trung gian.