Giá trị mặc định của cảnh

Tra cứu giá trị ban đầu của wafer, đi bộ và môi trường cùng đơn vị và khoảng được chấp nhận.

Tài liệu tham chiếu này áp dụng cho vFactory trên Cloud 2.1.2.10 và Windows 2.1.2.3.

Cảnh mới bắt đầu với các giá trị wafer, đi bộ và môi trường này. Mở Cài đặt nhà máy để chỉnh sửa.

Giá trị wafer và đi bộ

Các trường wafer nằm trong Sàn và wafer. Các trường đi bộ nằm trong Đi bộ.

Trường	Mặc định; khoảng được chấp nhận
Đường kính wafer	300 mm; 25–450 mm
Độ dày wafer	0,775 mm; 0,1–2 mm
Độ cao wafer tại cổng nạp	900 mm; 0–3000 mm
Độ cao điểm nhìn	1,6 m; 1–2,2 m
Bán kính cơ thể	300 mm; 150–600 mm
Tốc độ đi bộ	1,4 m/s; 0,2–5 m/s
Tốc độ xoay	90 °/s; 15–360 °/s

Mở Môi trường để xem các giá trị môi trường được ghi trong cảnh.

Trường	Mặc định; khoảng được chấp nhận
Nhiệt độ môi trường	21 °C; 15–30 °C
Độ ẩm tương đối	45 %RH; 20–70 %RH
Độ sạch hạt trong không khí (bụi)	ISO 14644-1 cấp 5; cấp 1–9, số nguyên
Vận tốc luồng khí đi xuống	0,4 m/s; 0–1 m/s
Chênh lệch áp suất phòng	15 Pa; 0–50 Pa

Độ dài được lưu bằng milimét và góc bằng độ. Gốc tọa độ nằm ở góc tây nam của sàn: X hướng đông, Y hướng bắc và Z hướng lên từ sàn.

Bố trí fab tham chiếu, dữ liệu quy trình và kết quả sử dụng các giả định minh họa.