Liên kết giả định phòng sạch với nhà máy tham chiếu

Dùng thanh trượt môi trường tham chiếu để tính lại ước tính mật độ khuyết tật, tỷ lệ đạt và số khuôn đạt dự kiến.

Trên Cloud và ứng dụng Windows, liên kết các giả định cấp ISO và luồng khí đi xuống trong Từ thiết kế đến wafer với môi trường nhà máy tham chiếu. Bắt đầu khi đã tải nguồn thiết kế hợp lệ; Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer giải thích việc chuyển giao thiết kế.

Đặt môi trường tham chiếu

  1. Chọn Nhà máy tham chiếu, rồi mở Cài đặt nhà máy → Môi trường. Dùng nhà máy tham chiếu ví dụ cho liên kết này; bản xem trước bố trí đã nhập giữ môi trường riêng.

  2. Điều chỉnh Độ sạch hạt trong không khí (bụi) và Vận tốc luồng khí đi xuống. Phạm vi tương ứng là cấp ISO 1–9 và 0–1 m/s.

  3. Chọn Từ thiết kế đến wafer. Trong Môi trường phòng sạch · Giả định, chọn Dùng thanh trượt môi trường nhà máy cho cấp ISO và luồng khí đi xuống. Hai thanh trượt thay thế các trường cấp ISO và luồng khí đi xuống độc lập.

Môi trường phòng sạch · Giả định trong Từ thiết kế đến wafer với hộp kiểm Dùng thanh trượt môi trường nhà máy cho cấp ISO và luồng khí đi xuống được chọn: thanh trượt Độ sạch hạt trong không khí (bụi) ở cấp 5 của ISO 14644-1 (cho phép 1–9), thanh trượt Vận tốc luồng khí đi xuống ở 0.40 m/s (cho phép 0–1 m/s), và các đầu vào Ngưỡng hạt, tốc độ lắng, thời gian phơi nhiễm, tỷ phần lắng đọng và tỷ phần gây lỗi nghiêm trọng.

Khi hộp kiểm được chọn, hai thanh trượt liên kết thay thế các trường cấp ISO và luồng khí đi xuống riêng.

Đầu vào đã nhập, do ứng dụng chủ cung cấp và được mở lại giữ nguyên giả định riêng cho đến khi bạn chọn hộp kiểm này. Liên kết sẽ sử dụng môi trường tham chiếu hiện tại. Ngưỡng hạt, tốc độ lắng, thời gian phơi nhiễm, tỷ phần lắng đọng và tỷ phần gây lỗi nghiêm trọng giữ nguyên giá trị hiện có.

Kiểm tra kết quả đã tính lại

  1. Chọn Tính bản xem trước để đọc Ước tính hình học và tỷ lệ đạt, bao gồm Giá trị đại diện Cn (hạt/m³), D0 môi trường (khuyết tật/cm²) và các xác suất đạt.

  2. Sau khi lần chạy hoàn tất, di chuyển một trong hai thanh trượt đã liên kết. Đã tính lại theo môi trường hiện tại xác nhận rằng tỷ lệ đạt và số khuôn đạt dự kiến đã được tính lại trên cùng các lô đã mô phỏng.

  3. Nếu thông báo Lưu kết quả này vào dự án được hiển thị, chọn để lưu kết quả đã chỉnh sửa. Kết quả tính lại không được lưu tự động.

Dùng giá trị độc lập

Bỏ chọn hộp kiểm để giữ các giá trị mới nhất dưới dạng đầu vào số độc lập. Các giá trị đã nhập trước đó không được khôi phục. Chỉnh sửa đầu vào số sẽ xóa kết quả hiện tại; dùng Tính bản xem trước hoặc Chạy từ thiết kế đến wafer một lần nữa.

Giá trị nhà máy tham chiếu và môi trường là giả định minh họa. Giá trị đại diện nồng độ ISO và ánh xạ lắng đọng là các ước tính chưa được hiệu chuẩn, không phải độ sạch đo được, tỷ lệ đạt đo được hay chứng nhận.