Xem bên trong mô hình EUV trong vFactory
Mở khung nhìn bên trong máy quét EUV, theo dõi đường quang và đọc các nguồn tham khảo.
Dùng Phòng thí nghiệm cấu trúc EUV để xem xét mô hình máy quét phục vụ học tập trên Cloud hoặc trong ứng dụng Windows. Trước khi bắt đầu, mở fab tham chiếu theo hướng dẫn bên dưới.
Mở nhà máy tham chiếu trong vFactory
Mở khung nhìn bên trong
Trên Cloud, chọn Bản đồ 3D trên thanh công cụ cảnh fab tham chiếu và chọn một máy quét EUV. Trong Windows, chọn Đi bộ, nhấp vào khung nhìn fab 3D để đặt tiêu điểm, rồi dùng W/S và A/D để đến gần một máy quét EUV.
Khi thao tác xem bên trong của máy quét xuất hiện, hãy chọn thao tác đó, chẳng hạn Xem bên trong · máy quét EUV 1 cho máy quét 1.
Tìm hiểu mô hình
Khung nhìn bên trong mở với vỏ được ẩn và toàn bộ đường quang hiển thị. Nhãn thành phần giúp bạn theo dõi đường quang qua mô hình.
Đọc thông báo về mô hình trong khung nhìn.
Chọn Nguồn để đọc tài liệu tham khảo.
Khung nhìn bên trong của máy quét EUV 1 với đường quang được hiển thị. Bảng Ghi chú ghi mô hình là cấu trúc công khai và tái dựng khái niệm.
Trở về fab
Chọn Đóng góc nhìn bên trong để trở về cảnh fab.
Cấu trúc EUV là bản tái dựng phục vụ học tập từ thông tin công khai và các giả định, không phải dữ liệu đo thiết bị.