Mở nhà máy tham chiếu trong vFactory

Mở nhà máy tham chiếu mẫu, đổi chế độ xem và kiểm tra bố trí cùng các giả định của nó.

vFactory mở với một nhà máy tham chiếu mẫu: một nhà máy logic 300 mm được bố trí dựa trên kiến thức công khai về cấu trúc và các giả định của chính chúng tôi. Hãy dùng nó để làm quen với các chế độ xem nhà máy trước khi làm việc với mô hình của bạn.

Mở vFactory

  1. Trong cửa sổ Digital Design Studio, ALcad hoặc vFactory, mở menu sản phẩm ở phần đầu cửa sổ.

  2. Chọn vFactory, rồi chọn Quy trình wafer và nhà máy.

  3. Chọn thẻ Nhà máy tham chiếu nếu thẻ này chưa được chọn. Các thẻ khác là Mô hình quy trình, Từ thiết kế đến wafer, Tính toán EUV và Vùng cắt EUV.

Đổi chế độ xem

  1. Nhà máy tham chiếu mở ở chế độ Bản đồ 3D.

  2. Dùng các nút chế độ xem trên thanh công cụ của cảnh để chuyển giữa Bản đồ 2D, Bản đồ 3D, Chế độ xem từ trên, Đi bộ và Xem tách tầng.

Nếu thiết bị không vẽ được các chế độ xem 3D, cảnh sẽ hiển thị mặt bằng theo tỷ lệ thật cùng thông báo Không có tăng tốc 3D, hiển thị bản thiết kế kích thước thật.

Kiểm tra bố trí và các giả định

  1. Chọn Cài đặt nhà máy (nút bánh răng) trên thanh công cụ của cảnh.

  2. Bảng hiển thị Nhà máy tham chiếu của chúng tôi và Nhà máy mạch logic trên wafer 300 mm · cấu trúc công khai, giả định của chúng tôi.

  3. Đọc phần tóm tắt bên dưới: Tái dựng · giả định, số thiết bị, nhóm thiết bị, khu vực và cổng OHT, cùng 4 EUV · dữ liệu quy trình giả định.

Tab Nhà máy tham chiếu trong chế độ xem Bản đồ 3D, với Cài đặt nhà máy mở bên cạnh nhà máy 3D. Bảng hiển thị Nhà máy tham chiếu của chúng tôi, Nhà máy mạch logic trên wafer 300 mm · cấu trúc công khai, giả định của chúng tôi và phần tóm tắt Tái dựng · giả định, 300 thiết bị, 17 nhóm thiết bị, 8 khu vực, 600 cổng OHT và 4 EUV · dữ liệu quy trình giả định.

Cài đặt nhà máy gắn nhãn nhà máy tham chiếu là bản tái dựng dựa trên giả định và tóm tắt thiết bị, nhóm thiết bị, khu vực, cổng OHT và thiết bị EUV của nhà máy.

Đổi số thiết bị

  1. Trong Cài đặt nhà máy, mở Thiết lập nhà máy.

  2. Nhập một số từ 200 đến 400 vào Số thiết bị tham chiếu. Giá trị mặc định là 300.

  3. Chọn Mở nhà máy tham chiếu. Nhà máy tham chiếu được bố trí lại với số thiết bị đó và phần tóm tắt thay đổi theo.

Nhà máy tham chiếu trong chế độ xem Bản đồ 2D: bản thiết kế kích thước thật của các bay phòng sạch, với mũi tên hướng bắc và hành lang quan sát. Trong Cài đặt nhà máy, Thiết lập nhà máy đang mở, Số thiết bị tham chiếu được đặt ở 300 và có các nút Mở nhà máy tham chiếu, Nhập bố trí nhà máy và Xuất mô hình mô phỏng.

Trong Bản đồ 2D, nhà máy tham chiếu được vẽ thành bản thiết kế kích thước thật. Thiết lập nhà máy hiển thị Số thiết bị tham chiếu ở giá trị mặc định 300.

Một số nằm ngoài phạm vi đó sẽ hiển thị Chọn từ 200 đến 400 thiết bị.

Xuất mô hình mô phỏng lưu mô hình nhà máy tham chiếu thành tệp JSON.

Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer

Nhà máy tham chiếu là một ví dụ. Bố trí và dữ liệu quy trình của nó là giả định, không phải dữ liệu từ một nhà máy thật.