Tính cân bằng quang học và photon EUV
So sánh đầu vào và kết quả mô hình trong tính toán EUV trên Cloud 2.1.2.10 hoặc Windows 2.1.2.3.
Chạy phép tính
Mở Tính toán EUV trong vFactory và chọn cấu hình nguồn đặt sẵn.
Xem lại Đa lớp Mo/Si + lớp phủ Ru, Giả định về liều và quét và Giả định về photon. Giữ mỗi giá trị trong phạm vi hiển thị.
Chọn Tính EUV.
Các đầu vào đa lớp xác định mô hình độ phản xạ. Sau một phép tính, Đáp ứng quang học phẳng vẽ độ phản xạ của phân cực s và phân cực p theo bước sóng.
Đọc kết quả
Cân bằng ánh sáng hiển thị công suất theo từng giai đoạn, liều, tốc độ quét và số wafer mỗi giờ.
Đáp ứng quang học phẳng hiển thị độ phản xạ s và p theo bước sóng và góc, cùng R / T / A tại 13.5 nm. Mở Bảng dữ liệu bước sóng hoặc Bảng dữ liệu góc để xem giá trị chính xác.
Cân bằng photon và nhiễu hiển thị năng lượng photon, số lượng trung bình và phương sai Poisson lý tưởng. Xem Nguồn và giả định cùng với kết quả.
Cân bằng photon và nhiễu so sánh số photon tới và hấp thụ với phương sai Poisson lý tưởng của chúng tại 13.5 nm.
Đây là đầu ra mô hình dựa trên giả định, không phải năng suất thiết bị đo được hay dự đoán cho nhà máy thực tế. Phép quét bước sóng giữ cố định các chỉ số quang học tại 13.5 nm; thống kê Poisson lý tưởng không dự đoán khuyết tật chất cản quang hoặc hiệu suất.