Chạy và lưu quy trình DUV đã liên kết
Kết nối các giai đoạn wafer với thiết bị fab, chạy phân đoạn DUV rồi lưu luồng cục bộ hoặc trong dự án đã chọn. Các bước này áp dụng cho Cloud 2.1.2.10 và Windows 2.1.2.3.
Mở bàn làm việc DUV
Trong vFactory, chọn Mô hình quy trình, rồi chọn Liên kết công đoạn DUV.
Trên Cloud, mở rộng Chỉnh sửa đầu vào mô hình đã ánh xạ trong biểu mẫu để thay đổi công thức wafer và đầu vào thiết bị fab. Trên Windows, mở rộng phần Đầu vào nâng cao đầu tiên để truy cập các biểu mẫu này.
Để chỉnh sửa JSON trên Cloud, mở rộng Chỉnh sửa đầu vào mô hình đã ánh xạ dưới dạng JSON. Trên Windows, mở rộng phần Đầu vào nâng cao phía dưới có chứa Dữ liệu đầu vào mô hình. Chỉnh sửa JSON và chọn Áp dụng đầu vào mô hình. Các trường có thể chỉnh sửa là wafer, fab, mapping, waferId, lotId và routeId.
Chạy và kiểm tra phân đoạn
Chọn Chạy phân đoạn DUV để tính toán các mô hình wafer và fab. Trong khi thực thi, chọn Hủy phân đoạn DUV để dừng.
Khi Tính toán hoàn tất xuất hiện, chọn giai đoạn trong DUV stage mapping để kiểm tra thiết bị, lịch trình và biên dạng đã tính trong cảnh fab đúng tỷ lệ.
Mở rộng Nguồn gốc thực thi quy trình để kiểm tra giai đoạn đã chọn và danh tính các bộ máy wafer, fab.
Lưu và mở tệp cục bộ
Mở Thao tác khác > Lưu tệp quy trình DUV. Trên cả Cloud và Windows, thao tác này bắt đầu tải xuống tệp có tên duv-flow.alcad-duv-fab.json.
Chọn Thao tác khác > Mở tệp quy trình DUV và chọn luồng JSON đã lưu. Nếu luồng hiện tại có thay đổi mà chưa có xác nhận lưu tệp, chọn Replace DUV flow hoặc Keep current DUV flow.
Để kết nối cảnh đúng tỷ lệ, chọn Thao tác khác > Kết nối tệp cảnh đúng tỷ lệ và chọn tệp JSON của cảnh.
Lưu và mở tệp dự án
Dùng dự án đã chọn với phiên tệp đang hoạt động và quyền lưu tệp của dự án. Trên Cloud, dừng môi trường thực thi dự án trước khi lưu. Các thao tác dự án kiểm tra dự án, phiên và bản sửa đổi nguồn.
Chọn Lưu luồng DUV thành tệp dự án, nhập Tên tệp tài liệu dự án mới, chẳng hạn duv-flow.alcad-fab-scene.json, rồi chọn Lưu tài liệu dự án.
Chọn Mở luồng DUV từ dự án, chọn Tài liệu dự án, rồi chọn Mở tài liệu dự án. Nếu bản nháp có thay đổi chưa lưu, chọn Thay bản nháp chưa được lưu hiện tại bằng tệp này. trước khi mở.
Sau khi mở hoặc lưu tệp dự án, chọn Lưu luồng DUV vào dự án để cập nhật tệp đó. Với luồng mới, điều khiển này mở hộp thoại tên tệp. Dùng Lưu luồng DUV thành tệp dự án với tên tệp khác để tạo tệp khác.
Chờ xác nhận lưu. Ứng dụng kiểm tra phiên bản tệp hiện có trước khi thay thế và đọc lại nội dung đã lưu để xác minh.