Tính ngân sách EUV đầu tiên trong vFactory

Kiểm tra đầu vào nguồn và quét, tính ngân sách EUV rồi đọc kết quả quang học và photon.

Bộ tính EUV chạy cục bộ trong vFactory trên Cloud hoặc trong ứng dụng Windows. Trước khi bắt đầu, mở vFactory theo hướng dẫn bên dưới.

Kiểm tra đầu vào

Chọn thẻ Tính toán EUV.
Với lần tính đầu tiên, giữ thiết lập nguồn và các giá trị đầu vào ban đầu.
Kiểm tra Giả định về liều và quét và Giả định về photon. Trên Cloud, mở rộng Nguồn và giả định để xem nguồn hoặc giả định của từng đầu vào. Trên Windows, xem nhãn cạnh phạm vi của từng đầu vào.

Thiết lập nguồn ban đầu RIKEN 2026 · Chùm tia đơn. Nguồn và giả định cho biết mỗi đầu vào đến từ thí nghiệm RIKEN 2026 hay là một giả định.

Chọn Tính EUV.
Khi Đã hoàn tất tính toán EUV. xuất hiện, đọc Cân bằng ánh sáng để xem công suất dọc đường quang cùng kết quả về liều và thời gian.
Đọc Đáp ứng quang học phẳng để xem độ phản xạ theo bước sóng và góc. Đọc Cân bằng photon và nhiễu để xem số photon và phương sai Poisson lý tưởng.

Sau Tính EUV, Cân bằng ánh sáng hiển thị công suất ở từng giai đoạn của đường quang, từ laser kích thích đến wafer.

Thay đổi đầu vào sẽ xóa kết quả trước đó. Nhập giá trị trong phạm vi hiển thị ở các trường, rồi chọn lại Tính EUV.

Đầu ra là kết quả tính từ đầu vào và giả định được cung cấp, không phải thông lượng máy quét, phổ hay dữ liệu sản xuất đo được.