Chạy mô hình quy trình đầu tiên trong vFactory

Mở mô hình quy trình, kiểm tra đầu vào mẫu, chạy mô hình và đọc kết quả.

Mô hình quy trình mở với một quy trình wafer mẫu. Hãy kiểm tra đầu vào, chạy mô hình và đọc kết quả đã tính.

Mở mô hình quy trình

  1. Mở menu sản phẩm, chọn vFactory, rồi chọn Quy trình wafer và nhà máy.

  2. Chọn thẻ Mô hình quy trình.

  3. Trong Mô hình, giữ Công đoạn wafer. Biểu mẫu bắt đầu với đầu vào của Ví dụ lớp phẳng.

Kiểm tra đầu vào

  1. Xem Hệ số vật liệu, Các lớp ban đầu từ bề mặt và Trình tự công đoạn.

  2. Trình tự mẫu có ba bước: Lắng đọng màng pha tạp, Ủ các lớp và Khắc màng có chọn lọc.

  3. Mở Giả định và đơn vị của mô hình để đọc đơn vị và phạm vi của mô hình.

Tab Mô hình quy trình với Mô hình được đặt thành Công đoạn wafer. Giả định và đơn vị của mô hình đang mở, tiếp theo là Hệ số vật liệu cho đế và màng, Các lớp ban đầu từ bề mặt và phần đầu của Trình tự công đoạn. Ngăn kết quả cho biết Chưa có kết quả đã tính.

Trước lần chạy đầu tiên, hãy xem giả định và đơn vị, hệ số vật liệu và các lớp ban đầu của ví dụ. Chưa có kết quả nào được hiển thị.

Chạy mô hình

  1. Chọn Chạy mô phỏng (nút phát) trên thanh công cụ.

  2. Trong khi mô hình chạy, trạng thái hiển thị Đang tính mô hình…. Để dừng lần chạy, chọn Hủy mô phỏng.

  3. Khi trạng thái hiển thị Tính toán hoàn tất, kết quả xuất hiện bên cạnh đầu vào, gồm Logarit nồng độ và Kiểm tra giai đoạn quy trình.

Mô hình quy trình sau một lần chạy. Thanh trạng thái hiển thị Tính toán hoàn tất, và Nguồn gốc thực thi quy trình cho thấy lần chạy đã hoàn tất. Kết quả đã tính hiển thị giai đoạn 3. Khắc màng có chọn lọc cùng độ dày, liều và số ô của giai đoạn đó, một biểu đồ nồng độ theo độ sâu và bảng Lịch sử quy trình và bảo toàn.

Sau Tính toán hoàn tất, kết quả hiển thị giai đoạn quy trình đã chọn, hồ sơ nồng độ theo độ sâu và lịch sử quy trình. Nguồn gốc thực thi quy trình cho thấy lần chạy đã hoàn tất.

Nếu bạn đổi một đầu vào sau khi chạy, trạng thái hiển thị Đầu vào đã thay đổi. Chọn lại Chạy mô phỏng để cập nhật kết quả.

Mô hình quy trình sau khi đầu vào thay đổi. Biểu ngữ Đầu vào đã thay đổi cho biết kết quả đang hiển thị thuộc về đầu vào trước đó và bạn nên chạy mô hình đã cập nhật để làm mới kết quả. Bước khuếch tán Ủ các lớp hiện có Thời lượng (s) 60, và kết quả trước đó vẫn ở bên phải.

Biểu ngữ "Đầu vào đã thay đổi" cho biết kết quả bên phải vẫn thuộc về đầu vào trước đó cho đến khi bạn chạy lại mô hình.

Nếu lần chạy không hoàn tất

Mô phỏng chưa hoàn tất xuất hiện cùng một thông báo giải thích vấn đề. Hãy làm theo hướng dẫn trong thông báo, rồi chạy lại mô hình.

Chạy mô phỏng không dùng được khi đang có một lần chạy hoặc một thao tác với tệp dự án.

Khi các tệp dự án không khả dụng, Chạy mô phỏng không thể sử dụng được. Hãy kết nối lại dự án, rồi chạy mô hình.

Nếu Dự án đã thay đổi xuất hiện, hãy làm theo thông báo của nó: Mở tài liệu công đoạn của dự án này hoặc tạo mới.

Lưu đầu vào và kết quả

  1. Lưu đầu vào lưu đầu vào hiện tại thành tệp JSON.

  2. Xuất kết quả dùng được sau một lần chạy và lưu đầu vào cùng với kết quả.

  3. Để thử một mô hình nhà máy tiếp theo, chọn Mô phỏng nhà máy trong Mô hình. Mô hình này bắt đầu với đầu vào của Ví dụ nhà máy với tuyến quay lại.

Dùng vFactory: khám phá fab và theo dõi thiết kế đến wafer

Đầu vào ví dụ là các giả định tổng hợp. Kết quả mô phỏng mô hình được cung cấp, không phải dữ liệu sản xuất đo được.