装置を配置してルート経由点を編集する

配置コントロールを開く

この手順は Cloud と Windows 2.1.2.3 に適用されます。製品メニューから vFactory → ウェーハ工程・ファブ を選択します。工程モデル を選択し、モデル で ファブシミュレーション を選び、実寸ファブシーン (プレビュー) を選択します。シーンのツールバーで 2D マップ を選択し、ファブ設定 を開きます。

装置を配置して移動する

1. 設備スロット でプロセススロットを選択します。未配置のスロットの場合は、選択 で シーンに配置 を選択します。

2. 2D 平面図で配置済みの装置をドラッグし、スナップグリッドに沿って移動します。数値で位置を指定するには、選択 の 東 (X) と 北 (Y) を編集します。これらの座標の単位はメートルです。

3. シーンのビューポートにフォーカスがある状態で矢印キーを押すと、選択対象がスナップグリッドに沿って移動します。Shift を押しながら矢印キーを押すと、10 mm ずつ移動します。

配置を回転または削除する

1. 配置済みの装置を選択して 回転 を編集するか、時計回りに 90° 回転 または 反時計回りに 90° 回転 を選択します。

2. 配置を削除 を選択すると、その装置のプロセススロットが未配置の状態に戻ります。設備スロット でそのスロットを選び、シーンに配置 を選択すると再配置できます。

3. シーン編集を元に戻す または シーン編集をやり直す を使用して、シーンの編集を順にたどります。

ルート経由点を編集する

1. ルート を展開し、ルート を選びます。配置済みの二つの装置グループを結ぶ区間で、経由点を追加 を選択します。

2. 2D 平面図で経由点のマーカーをドラッグするか、ビューポートにフォーカスを移して矢印キーで選択した経由点を移動します。

3. ルート で経由点のボタンを選び、選択 で 経由点を削除 を選択してその経由点を削除します。

装置と経由点を編集したら、シーンを保存します。